<img alt="" src="/photo/sapphire-substrate/editor/20260601172040_96638.jpg </div> </div> <hr data-end=" 5165"="" data-start="5162">

CVD পলিক্রিস্টালাইন SiC এর উপাদান বৈশিষ্ট্য

CVD পলিক্রিস্টালাইন SiC রাসায়নিক বাষ্প জমা দ্বারা উত্পাদিত হয়. এটি একটি ঘন কাঠামো, উচ্চ বিশুদ্ধতা, চমৎকার জারা প্রতিরোধের, এবং অর্ধপরিবাহী পরিষ্কার প্রক্রিয়া পরিবেশে শক্তিশালী স্থিতিশীলতা বৈশিষ্ট্যযুক্ত।

পণ্যের সুবিধা

উচ্চ বিশুদ্ধতা

CVD SiC এর বিশুদ্ধতা পৌঁছাতে পারে99.99997%, সেমিকন্ডাক্টর ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়াগুলিতে ধাতব দূষণের ঝুঁকি কমাতে সাহায্য করে।

চমৎকার প্লাজমা জারা প্রতিরোধের

CVD SiC ফ্লোরিন-ভিত্তিক এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা পরিবেশে ভাল স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, উপাদান পরিধান এবং কণা উত্পাদন হ্রাস করে।

উচ্চ তাপ পরিবাহিতা

এর তাপ পরিবাহিতা সহ240-360 W/m·K, CVD SiC তাপ ক্ষেত্রের অভিন্নতা এবং প্রক্রিয়ার ধারাবাহিকতা উন্নত করতে সাহায্য করে।

উচ্চ-তাপমাত্রা স্থায়িত্ব

CVD SiC উপাদানগুলি EPI, ডিফিউশন, RTP এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত। তারা দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের সময় ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে।

উচ্চ কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের

উচ্চ Vickers কঠোরতা চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের প্রদান করে এবং উপাদান সেবা জীবন প্রসারিত সাহায্য করে.

কাস্টম মেশিন উপলব্ধ

বাহ্যিক ব্যাস, অভ্যন্তরীণ ব্যাস, গর্ত, খাঁজ, ধাপ, চ্যামফার, পৃষ্ঠের অবস্থা এবং সমাবেশের নির্ভুলতা সহ গ্রাহকের অঙ্কন অনুযায়ী পণ্যগুলি কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।

আবেদন ক্ষেত্র

CVD পলিক্রিস্টালাইন SiC উপাদানগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়:

• শুকনো এচিং সরঞ্জাম
• এপিটাক্সি সরঞ্জাম
• ডিফিউশন ফার্নেস সরঞ্জাম
• আরটিপি সরঞ্জাম
• অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম OEM অংশ
• ওয়েফার ফ্যাব খুচরা অংশ প্রতিস্থাপন
• Si, SiC, GaN, GaAs ওয়েফার প্রক্রিয়া

প্রশ্নোত্তর

প্রশ্ন 1: CVD পলিক্রিস্টালাইন SiC কি?উপাদানজন্য ব্যবহৃত?

CVD পলিক্রিস্টালাইন SiCউপাদানপ্রধানত সেমিকন্ডাক্টর ফ্রন্ট-এন্ডে ব্যবহৃত হয়সরঞ্জাম,সহ শুষ্কইচ, ইপিআই, ডিফিউশন, এবং আরটিপিসিস্টেমসাধারণপণ্য অন্তর্ভুক্তSiC রিং, SiCইলেক্ট্রোড,প্রান্তরিং, সাসেপ্টর, SiC বোট এবং ডামি ওয়েফার.

প্রশ্ন 2: কোয়ার্টজ বা সিলিকন অংশের তুলনায় CVD SiC-এর সুবিধাগুলি কী কী?

CVD SiC আরও ভাল অফার করেরক্তরস জারাপ্রতিরোধ, উচ্চ-তাপমাত্রাস্থিতিশীলতা, তাপ পরিবাহিতা, কঠোরতা, এবংসেবাজীবন. এটা পারেহ্রাস করা কণাপ্রজন্ম এবংউপাদানপরেনকঠোরঅর্ধপরিবাহীপ্রক্রিয়া পরিবেশ.

প্রশ্ন 3: কি উপকরণ?উপলব্ধএই জন্যউপাদান?

আমরা প্রদান করতে পারেনউপাদানথেকে তৈরিCVD SiC, এককস্ফটিকসিলিকন, বহু-স্ফটিকসিলিকন, এবং কোয়ার্টজ, উপর নির্ভর করেআবেদনএবংসরঞ্জাম প্রয়োজনীয়তা.