সলিড সিআইসি ভ্যাকুয়াম চাক ∙ পাতলা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য আল্ট্রা-ফ্ল্যাট ক্যারিয়ার প্লেট

সিআইসি ভ্যাকুয়াম চ্যাকের প্রবর্তন

আল্ট্রা ফ্ল্যাট সিরামিক ওয়েফার ভ্যাকুয়াম চকটি উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি) লেপ দিয়ে তৈরি করা হয়েছে, যা উন্নত ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়াগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।এমওসিভিডি এবং যৌগিক অর্ধপরিবাহী বৃদ্ধির সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহারের জন্য অনুকূলিত, এটি চরম প্রক্রিয়াজাতকরণ পরিবেশে ব্যতিক্রমী স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে চমৎকার তাপ এবং জারা প্রতিরোধের প্রস্তাব।এটি অর্ধপরিবাহী ওয়েফার উত্পাদন উন্নত ফলন ব্যবস্থাপনা এবং নির্ভরযোগ্যতা অবদান.

এর নিম্ন-পৃষ্ঠ-যোগাযোগ কনফিগারেশন পিছনের কণা দূষণকে হ্রাস করতে সহায়তা করে, এটি অত্যন্ত সংবেদনশীল ওয়েফার অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আদর্শ করে তোলে যেখানে পরিষ্কার এবং নির্ভুলতা সমালোচনামূলক।

এই সমাধানটি উচ্চ কার্যকারিতা এবং ব্যয়-কার্যকারিতা একত্রিত করে, নির্ভরযোগ্য এবং দীর্ঘস্থায়ী কর্মক্ষমতা সহ চাহিদাপূর্ণ উত্পাদন পরিবেশকে সমর্থন করে।

কার্যকরী নীতিএরসিআইসি ভ্যাকুয়াম চাক

উচ্চ তাপমাত্রা প্রক্রিয়ায়, সিআইসি ক্যারিয়ার প্লেটটি ওয়েফার বা পাতলা ফিল্মের উপকরণ বহন করার জন্য একটি সমর্থন হিসাবে কাজ করে। এর উচ্চ তাপ পরিবাহিতা অভিন্ন তাপ বিতরণ নিশ্চিত করে,প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা এবং অভিন্নতা উন্নতঅতিরিক্তভাবে, তার কঠোরতা এবং রাসায়নিক inertness কারণে, প্লেট ক্ষয়কারী পরিবেশে এমনকি কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে, পণ্য বিশুদ্ধতা এবং সরঞ্জাম নিরাপত্তা নিশ্চিত।

ওয়েফার ভ্যাকুয়াম চ্যাকের পরামিতি

ওয়েফার ভ্যাকুয়াম চকের বৈশিষ্ট্য

● অতি সমতল ক্ষমতা

● মিরর পলিশ

● ব্যতিক্রমী হালকা ওজন

● উচ্চ শক্ততা

● কম তাপীয় প্রসার

● Φ ৩০০ মিমি ব্যাসার্ধ এবং তার বেশি

● অত্যন্ত পরিধান প্রতিরোধী

সিআইসি পোরাস ভ্যাকুয়াম চ্যাকের অ্যাপ্লিকেশন

অর্ধপরিবাহী এবং অপটোইলেকট্রনিক শিল্পে, অতি পাতলা ওয়েফারগুলি প্রায়শই পোরাস সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি) ভ্যাকুয়াম চক্সে স্থাপন করা হয়। একটি ভ্যাকুয়াম জেনারেটরের সাথে সংযুক্ত করে,নেতিবাচক চাপ প্রয়োগ করা হয় যান্ত্রিক clamps ছাড়া স্থানে নিরাপদে ওয়েফার রাখাএটি নিম্নলিখিত পর্যায়ে সুনির্দিষ্ট এবং স্থিতিশীল প্রক্রিয়াকরণ সক্ষম করেঃ

• মোম মাউন্ট

• ব্যাকসাইড হ্রাস (মিলিং বা ল্যাপিং)

• ডিভাক্সিং

• পরিষ্কার করা

• টুকরো টুকরো করে কাটা

উচ্চ বিশুদ্ধতা, ছিদ্রযুক্ত সিআইসি ভ্যাকুয়াম চকের ব্যবহার এই প্রক্রিয়াগুলিতে দুর্দান্ত তাপীয় এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে, দূষণকে হ্রাস করে এবং ওয়েফারের সমতলতা বজায় রাখে।এর উচ্চতর যান্ত্রিক শক্তি এবং তাপ পরিবাহিতাও প্রক্রিয়াজাতকরণের সময় ওয়েফারের ভাঙ্গনের ঝুঁকি হ্রাস করে, বিশেষ করে অস্থির বা অতি পাতলা স্তর যেমন GaAs, InP, বা SiC এর জন্য।

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী (FAQs)

প্রশ্ন ১ঃ একটি ছিদ্রযুক্ত সিআইসি ভ্যাকুয়াম চকের প্রধান উদ্দেশ্য কী?
উঃএটি ব্যবহার করা হয়পাতলা বা ভঙ্গুর ওয়েফারগুলি দৃঢ়ভাবে ধরে রাখুনযেমন মোম মাউন্ট, পাতলা, পরিষ্কার এবং টুকরো টুকরো করা।ছিদ্রযুক্ত SiC উপাদান মাধ্যমে ভ্যাকুয়াম শোষণ wafer পৃষ্ঠ ক্ষতি ছাড়া অভিন্ন এবং স্থিতিশীল রাখা প্রদান করে.

প্রশ্ন ২ঃ সিআইসি ভ্যাকুয়াম চাক ব্যবহার করে কোন উপকরণগুলি প্রক্রিয়া করা যায়?
উঃএটি একটি বিস্তৃত অর্ধপরিবাহী উপকরণ সমর্থন করে, যার মধ্যে রয়েছেঃ

• সিলিকন (Si)

• গ্যালিয়াম আর্সেনাইড (GaAs)

• ইন্ডিয়াম ফসফাইড (InP)

• সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি)

• রৌপ্য
  এগুলি সাধারণতপাতলা বা ভঙ্গুর ওফারযা ব্যাক-এন্ড প্রসেসিংয়ের সময় স্থিতিশীল হ্যান্ডলিং প্রয়োজন।

প্রশ্ন 3: ধাতু বা সিরামিক চকের তুলনায় ছিদ্রযুক্ত সিআইসি ব্যবহারের সুবিধা কী?
উঃপোরাস সিআইসি বেশ কয়েকটি সুবিধা প্রদান করেঃ

• ইxঅসাধারণ তাপ পরিবাহিতাপ্রক্রিয়াকরণের সময় তাপ জমা হতে বাধা দেয়

• উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি∙ বিকৃতির ঝুঁকি কমিয়ে আনে

• রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা✅ আক্রমণাত্মক পরিষ্কারের রাসায়নিকের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ

• নিম্ন কণা উত্পাদনক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত

• স্থিতিশীল ভ্যাকুয়াম বিতরণ√ ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন স্তন্যপান

সংশ্লিষ্ট পণ্য

১২ ইঞ্চি সিআইসি ওয়েফার ৩০০ মিমি সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার কন্ডাকটিভ ডামি গ্রেড এন-টাইপ রিসার্চ গ্রেড

4H/6H পি-টাইপ সিক ওয়েফার 4 ইঞ্চি 6 ইঞ্চি জেড গ্রেড পি গ্রেড ডি গ্রেড অফ অক্ষ 2.0°-4.0° দিকে পি-টাইপ ডোপিং