ওয়েফার বন্ডার সরঞ্জাম রুম তাপমাত্রা বন্ডিং হাইড্রোফিলিক বন্ডিং 4 6 8 12 ইঞ্চি সিসি-সিসি-সিসি

ওয়েফার বন্ডার সরঞ্জাম রুম তাপমাত্রা বন্ডিং, হাইড্রোফিলিক বন্ডিং জন্য 4 6 8 12 ইঞ্চি SiC-Si SiC-SiC

ওয়েফার বন্ডার সরঞ্জাম

এই ওয়েফার বন্ডারটি সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি) ওয়েফারগুলির উচ্চ-নির্ভুলতার বন্ধনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, উভয়ই সমর্থন করেঘরের তাপমাত্রায় বন্ধনএবংহাইড্রোফিলিক বন্ডিংএটি ওফারগুলি পরিচালনা করতে সক্ষম4 ইঞ্চি, 6 ইঞ্চি, 8 ইঞ্চি, এবং 12 ইঞ্চিউন্নত সমন্বয় ব্যবস্থা এবং সঠিক তাপমাত্রা এবং চাপ নিয়ন্ত্রণের সাথে,এই সরঞ্জাম উচ্চ ফলন এবং ক্ষমতা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন এবং গবেষণা অ্যাপ্লিকেশন জন্য চমৎকার অভিন্নতা নিশ্চিত.

ওয়েফার বন্ডার সরঞ্জামের সম্পত্তি

• বন্ডিংয়ের ধরন: রুম তাপমাত্রা বন্ডিং, হাইড্রোফিলিক বন্ডিং

• ওয়েফারের আকার সমর্থিত: 4", 6", 8", 12"

• বাঁধন উপকরণ: SiC-Si, SiC-SiC

• সমন্বয় নির্ভুলতা: ≤ ± 1 μm

• বন্ধন চাপ: ০৫ এমপিএ নিয়ন্ত্রনযোগ্য

• তাপমাত্রা পরিসীমা: রুমের তাপমাত্রা ৪০০ ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত (প্রাক/পরবর্তী চিকিত্সার জন্য যদি প্রয়োজন হয়)

• ভ্যাকুয়াম চেম্বার: উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশের জন্য কণা মুক্ত বন্ধন

• ব্যবহারকারী ইন্টারফেস: প্রোগ্রামযোগ্য রেসিপি সহ টাচস্ক্রিন ইন্টারফেস

• অটোমেশন: অপশনাল স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার লোডিং / আনলোডিং

• নিরাপত্তা বৈশিষ্ট্য: বন্ধ চেম্বার, ওভারহিট সুরক্ষা, জরুরী স্টপ

ওয়েফার বন্ডার সরঞ্জামটি উন্নত অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির জন্য উচ্চ-নির্ভুলতা বন্ডিং প্রক্রিয়া সমর্থন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, বিশেষত সিআইসি-টু-সিআইসি এবং সিআইসি-টু-সিআই বন্ডিংয়ের জন্য।এটা 12 ইঞ্চি পর্যন্ত wafer মাপ accommodates, 4 ", 6", এবং 8 "ওয়েফারের জন্য সামঞ্জস্যপূর্ণ। সিস্টেমটি ঘরের তাপমাত্রা এবং হাইড্রোফিলিক লিঙ্ক সমর্থন করে, তাপ সংবেদনশীল অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য এটি আদর্শ করে তোলে।একটি উচ্চ নির্ভুলতা অপটিক্যাল সমন্বয় সিস্টেম সঙ্গে sub-মাইক্রন নির্ভুলতা সঙ্গে বৈশিষ্ট্যযুক্ত, এটি ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে ধ্রুবক আঠালো নিশ্চিত করে। সরঞ্জামটিতে রেসিপি পরিচালনার সাথে একটি প্রোগ্রামযোগ্য নিয়ন্ত্রণ ইন্টারফেস রয়েছে, যা ব্যবহারকারীদের আঠালো চাপ, সময়কাল,এবং অপশনাল হিটিং প্রোফাইলএকটি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম চেম্বার নকশা কণা দূষণ হ্রাস এবং bonding মান উন্নত, যখন নিরাপত্তা বৈশিষ্ট্য যেমন অতিরিক্ত তাপমাত্রা সুরক্ষা, interlocks,এবং জরুরী বন্ধ স্থিতিশীল এবং নিরাপদ অপারেশন নিশ্চিতএর মডুলার ডিজাইন উচ্চ-থ্রুপুট উত্পাদন পরিবেশের জন্য স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের সাথে সংহতকরণের অনুমতি দেয়।

ছবি

সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান

আসল কেস --6 ইঞ্চি সিসি-সিসি

(৬ ইঞ্চি সিআইসি-সিআইসি ওয়েফার বন্ডিং ম্যানুফ্যাকচারিং এর প্রধান প্রক্রিয়া ধাপ)

(সিআইসি মোসফেট চ্যানেল অঞ্চলের ক্রস-সেকশনাল হাই-রেজোলিউশন ট্রান্সমিশন ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপ (এইচআরটিইএম) ইপিট্যাক্সিয়াল স্তর সহ 6-ইঞ্চি ইঞ্জিনিয়ারিং সাবস্ট্র্যাটে তৈরি)

(৬ ইঞ্চি ওয়েফারে নির্মিত ডিভাইসের IGSS ডিস্ট্রিবিউশন ম্যাপ (সবুজটি পাস নির্দেশ করে; চিত্র a এ 90% এবং চিত্র b এ 70% ফলন)

প্রয়োগ

• সিআইসি পাওয়ার ডিভাইসের প্যাকেজিং

• প্রশস্ত ব্যান্ডগ্যাপ সেমিকন্ডাক্টরগুলির গবেষণা ও উন্নয়ন

• উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রনিক মডিউল সমন্বয়

• এমইএমএস এবং সেন্সর ওয়েফার স্তরের প্যাকেজিং

• সিআই, সাফির বা ডায়মন্ড সাবস্ট্র্যাট জড়িত হাইব্রিড ওয়েফার ইন্টিগ্রেশন

প্রশ্নোত্তর

প্রশ্ন ১ঃ ঘরের তাপমাত্রায় সিআইসিকে সংযুক্ত করার প্রধান সুবিধা কী?
উঃএটি তাপীয় চাপ এবং উপাদান বিকৃতি এড়ায়, যা সিআইসির মতো ভঙ্গুর বা অসম্পূর্ণ তাপীয় সম্প্রসারণ স্তরগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

প্রশ্ন 2: এই সরঞ্জামটি অস্থায়ীভাবে সংযুক্ত করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে?
উঃযদিও এই ইউনিটটি স্থায়ী লিঙ্কিংয়ে বিশেষজ্ঞ, তবে অনুরোধের ভিত্তিতে অস্থায়ী লিঙ্কিং কার্যকারিতা সহ একটি বৈকল্পিক উপলব্ধ।

প্রশ্ন ৩ঃ উচ্চ-নির্ভুলতাযুক্ত ওয়েফারগুলির জন্য আপনি কীভাবে সারিবদ্ধতা নিশ্চিত করেন?
উঃসিস্টেমটি সাব-মাইক্রন রেজোলিউশন এবং অটো-করিশনের অ্যালগরিদম সহ অপটিক্যাল সারিবদ্ধতা ব্যবহার করে।