টিজিভি গ্লাস সাবস্ট্র্যাট থ্রো-হোল লেপ সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিং JGS1 JGS2

পণ্যের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

 
টিজিভি (থ্রু গ্লাস ভায়া) প্রযুক্তি, যা গ্লাস-থ্রু-হোল প্রযুক্তি নামেও পরিচিত, এটি একটি উল্লম্ব বৈদ্যুতিক আন্তঃসংযোগ কৌশল যা গ্লাস সাবস্ট্রেটে প্রবেশ করে।এটি গ্লাস সাবস্ট্র্যাটে উল্লম্ব বৈদ্যুতিক সংযোগ সক্ষম করে, চিপগুলির মধ্যে উচ্চ ঘনত্বের ইন্টারকানেকশন অর্জন করা, পাশাপাশি চিপ এবং সাবস্ট্র্যাটগুলির মধ্যে। যখন টিএসভি (থ্রু সিলিকন ভায়া) প্রযুক্তি সিলিকন-ভিত্তিক সাবস্ট্র্যাটগুলিতে ইন্টারপোজারগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়,টিজিভি গ্লাস ভিত্তিক সাবস্ট্র্যাটে একই উদ্দেশ্য পালন করে.
গ্লাস সাবস্ট্রেটগুলি পরবর্তী প্রজন্মের চিপ বেস উপকরণগুলির প্রতিনিধিত্ব করে, যার মূল উপাদানটি গ্লাস। গ্লাস সাবস্ট্রেট প্যাকেজিংয়ের মূল সক্ষম প্রযুক্তিটি টিজিভি।গ্লাস সাবস্ট্রেট শিল্প চেইনে উৎপাদন অন্তর্ভুক্ত, কাঁচামাল, সরঞ্জাম, প্রযুক্তি, প্যাকেজিং, পরীক্ষা এবং অ্যাপ্লিকেশন, উত্পাদন, উপকরণ এবং সরঞ্জামগুলিতে মনোনিবেশ করে আপস্ট্রিম বিভাগগুলির সাথে।
 

সুবিধা

• উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সির বৈদ্যুতিক পারফরম্যান্স
• বড় আকারের অতি পাতলা গ্লাস সাবস্ট্র্যাট পাওয়া সহজ
• খরচ দক্ষতা
• সরলীকৃত প্রক্রিয়া প্রবাহ
• শক্তিশালী যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা
• বিস্তৃত প্রয়োগের সম্ভাবনা

 
প্রযুক্তিগত নীতিমালা


(ক) গ্লাস ওয়েফার প্রস্তুত করুন
(খ) ফর্ম টিজিভি (গ্লাস ভায়াসের মাধ্যমে)
(c) ডিপোজিট পিভিডি বাধা স্তর এবং বীজ স্তর, তামা জমা জন্য দ্বৈত পাশের electroplating সঞ্চালন
(ঘ) পৃষ্ঠের তামা স্তর অপসারণের জন্য অ্যানিলিং এবং সিএমপি (কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং)
(e) পিভিডি লেপ এবং ফটোলিথোগ্রাফি
(f) ফ্যাব্রিক্যাট আরডিএল (পুনর্বন্টন স্তর)
(ঘ) ফোটোরেসিস্ট স্ট্রিপ করুন এবং Cu/Ti ইটিং করুন
(হ) ফর্ম প্যাসিভেশন স্তর (ডিলেক্ট্রিক স্তর)
 
বিস্তারিত পদক্ষেপঃ
 
টিজিভি (থ্রু গ্লাস ভায়া) উত্পাদন প্রক্রিয়াটি ইনকামিং উপাদান পরিদর্শন দিয়ে শুরু হয়, তারপরে স্যান্ডব্লাস্টিং, আল্ট্রাসোনিক ড্রিলিং, ভিজা খোদাই,গভীর প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন ইটিং (ডিআরআইই), আলোক সংবেদনশীল খোদাই, লেজার খোদাই, লেজার-প্ররোচিত গভীর খোদাই, এবং ফোকাস ডিসচার্জ ড্রিলিং, যা পরে পরিদর্শন এবং পরিষ্কারের মাধ্যমে সঞ্চালিত হয়।
 
প্লাজমা ইটচিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে থ্রু গ্লাস ভায়াস (টিজিভি) তৈরি করা হয়।

 
গর্তটি গঠিত হওয়ার পরে, গর্তটি পরীক্ষা করা দরকার, যেমন গর্তের হার, বিদেশী পদার্থ, প্যানেলের ত্রুটি ইত্যাদি।
 

1. ইন্টিগ্রিটি মাধ্যমে ️ ফুটো এবং অ-পরিবাহী ভায়াস সনাক্ত করুন। ডিসপ্লে আকারের স্পেসিফিকেশনঃ 10/30/50/70/100 μm; বাইরের ব্যাসার্ধ অবশ্যই অভ্যন্তরীণ ব্যাসার্ধ ≥ 60% অতিক্রম করতে হবে। ত্রুটি মানঃ এলাকা;বৃত্তাকারতা (≥95% নিয়ন্ত্রণ); ব্যাসার্ধ সহনশীলতা (± 5 μm) ।

2. ভিয়াসে বিদেশী উপাদান ️ ধারাবাহিকতা পরীক্ষা করুন এবং অবশিষ্টাংশ সনাক্ত করুন (গ্লাসের ধ্বংসাবশেষ, কার্বন ফাইবার, আঠালো, ধুলো) ।

3. প্যানেলের ত্রুটি ∙ ফাটল, খোদাই ত্রুটি (গর্ত), দূষণকারী, স্ক্র্যাচ।

 
আবার, নীচে থেকে উপরে থেকে বৈদ্যুতিন প্রলেপিং TGV এর নিরবচ্ছিন্ন ভরাট অর্জন করে;

 
অবশেষে, অস্থায়ী লিঙ্কিং, ব্যাক গ্রিলিং, রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং (সিএমপি) তামা প্রকাশ করতে, ডি-বন্ডিং, এবং (টিজিভি) প্রক্রিয়া প্রযুক্তির মাধ্যমে ধাতব ভরাট ট্রান্সফার বোর্ডের মাধ্যমে একটি গ্লাস গঠন।প্রক্রিয়া চলাকালীন, পরিচ্ছন্নতা এবং পরীক্ষার মতো সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াও প্রয়োজন।
 
(a) লিড ড্রিলিং
(খ) ইলেক্ট্রোপ্লেটিং ফিলিং
(c) সিএমপি
(d) সামনের দিকের RDL গঠন
(e) পলিমাইড স্তর
(f) বাম্পিং
(ঘ) অস্থায়ী বন্ধন
(হ) ব্যাকসাইড গ্রিলিং & আরডিএল গঠন
(i) ক্যারিয়ার ওয়েফার ডি-বন্ডড
 
 

অ্যাপ্লিকেশন
উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি যোগাযোগ (5G/6G চিপ প্যাকেজিং)
উচ্চ পারফরম্যান্স কম্পিউটিং এবং এআই চিপ
স্বয়ংক্রিয় লিডার মডিউল, অটোমোবাইল রাডার, ইভি কন্ট্রোল ইউনিট।
ইম্পল্যান্টযোগ্য ডিভাইস (যেমন, নিউরাল প্রোব), উচ্চ-থ্রুপুট বায়োচিপ।

প্রশ্নোত্তর
প্রশ্ন 1: টিজিভি গ্লাস কি?
A1:টিজিভি গ্লাসঃ উচ্চ ঘনত্বের চিপ ইন্টারকানেকশন জন্য উল্লম্ব পরিবাহী ভায়াস সহ একটি গ্লাস সাবস্ট্র্যাট, উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি এবং 3 ডি প্যাকেজিংয়ের জন্য উপযুক্ত।
 
প্রশ্ন 2: গ্লাস সাবস্ট্র্যাট এবং সিলিকন সাবস্ট্র্যাট মধ্যে পার্থক্য কি?
A2:

• উপকরণঃ গ্লাস একটি বিচ্ছিন্নকারী (নিম্ন dielectric ক্ষতি), সিলিকন একটি অর্ধপরিবাহী।
• উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি পারফরম্যান্সঃ গ্লাস সিগন্যাল হ্রাস সিলিকনের তুলনায় 10-100 গুণ কম।
• খরচঃ গ্লাস সাবস্ট্র্যাট সিলিকনের প্রায় 1/8 খরচ করে।
• টিজিভি (থ্রু গ্লাস ভায়া): একটি অতিরিক্ত নিরোধক স্তর প্রয়োজন ছাড়াই একটি গ্লাস সাবস্ট্র্যাটে গঠিত একটি ধাতব উল্লম্ব চ্যানেল, এবং সিলিকন ভায়া (টিএসভি) এর চেয়ে সহজ প্রক্রিয়া।

 
প্রশ্ন ৩ঃ গ্লাস কোর সাবস্ট্র্যাট কেন বেছে নেবেন?
A3:

• উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি শ্রেষ্ঠত্বঃLow Dk/Df 5G/6G mmWave ব্যান্ডে (24-300 GHz) সংকেত বিকৃতিকে কমিয়ে দেয়।
• খরচ দক্ষতাঃবড় এলাকার প্যানেল প্রক্রিয়াকরণ (যেমন, জেনার 8.5 গ্লাস প্যানেল) সিলিকন ওয়েফারের তুলনায় 70% খরচ হ্রাস করে।
• তাপীয় এবং যান্ত্রিক স্থিতিশীলতাঃঅতি পাতলা (<100 μm) বেধেও প্রায় শূন্য warpage। সিটিই tunable মাল্টি-উপাদান সিস্টেমে তাপ চাপ হ্রাস করে।
• অপটিক্যাল স্বচ্ছতাঃ হাইব্রিড ইলেকট্রিক/অপটিক্যাল ইন্টিগ্রেশন (যেমন, লিডার, এআর ডিসপ্লে) সক্ষম করে।
• স্কেলযোগ্যতাঃ উন্নত 3D IC-এর ভর উৎপাদন জন্য প্যানেল-স্তরের প্যাকেজিং (PLP) সমর্থন করে।

 
সংশ্লিষ্ট পণ্য