বিস্তারিত তথ্য |
|||
ওয়েফার সাইজ: | ≤12 ইঞ্চি, অনিয়মিত আকারের নমুনাগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ | সামঞ্জস্যপূর্ণ উপকরণ: | এসআই, এলটি/এলএন, নীলকান্ত |
---|---|---|---|
লোডিং পদ্ধতি: | ম্যানুয়াল লোডিং | সর্বোচ্চ চাপ: | 80 কে.এন |
সারফেস ট্রিটমেন্ট: | ইন-সিটু অ্যাক্টিভেশন এবং আয়ন জবানবন্দি | বন্ধন শক্তি: | ≥2.0 জে/এম² |
বিশেষভাবে তুলে ধরা: | এমইএমএস ডিভাইস ওয়েফার বন্ডার মেশিন,পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স ওয়েফার বন্ডার মেশিন,হাইড্রোফিলিক বন্ডিং ওয়েফার বন্ডার মেশিন |
পণ্যের বর্ণনা
সংক্ষিপ্ত বিবরণ:ওয়েফার বন্ডার
ওয়েফার বন্ডার উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের জন্য একটি বহুমুখী সমাধান, যা নির্ভরযোগ্য সরাসরি বন্ধন, অ্যানোডিক বন্ধন এবং তাপ সংকোচন প্রক্রিয়া সরবরাহ করে।উচ্চ ফলন এবং পুনরাবৃত্তি জন্য ডিজাইন, এটি 6 থেকে 12 ইঞ্চি ওয়েফারকে বেধের নমনীয়তার সাথে সমর্থন করে, 3 ডি আইসি প্যাকেজিং, এমইএমএস ডিভাইস এবং পাওয়ার ইলেকট্রনিক্সের মতো বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য সুনির্দিষ্ট সারিবদ্ধতা এবং প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিং এবং বুদ্ধিমান পর্যবেক্ষণের সাথে সজ্জিত, সিস্টেমটি উপাদান বর্জ্যকে হ্রাস করে এবং আপটাইমকে সর্বাধিক করে তোলে। এর মডুলার নকশা নতুন প্রক্রিয়াগুলিতে দ্রুত অভিযোজন করতে দেয়,অপারেশনাল জটিলতা হ্রাসবিশ্বব্যাপী শিল্পের মানদণ্ড মেনে চলার জন্য, বন্ডারটি বিদ্যমান উত্পাদন লাইন এবং এমইএস সিস্টেমের সাথে নির্বিঘ্নে সংহত হয়, যা ট্রেসযোগ্যতা এবং দক্ষতা বাড়ায়।
আইএসও সার্টিফাইড গুণমান এবং প্রতিক্রিয়াশীল বিশ্বব্যাপী পরিষেবা দ্বারা সমর্থিত, এই প্ল্যাটফর্মটি উচ্চ-ভলিউম উত্পাদনের জন্য মালিকানা ব্যয়কে অনুকূলিত করার সময় দীর্ঘমেয়াদী কর্মক্ষমতা সরবরাহ করে।
ওয়েফার বন্ডিং টেকনিক
1. রুম তাপমাত্রা বন্ডিং
নীতি:
- পারমাণবিক স্তরের বন্ধন অর্জন করে (যেমন, Si, গ্লাস, পলিমার) পরিবেষ্টিত তাপমাত্রায় (25-100 °C) পৃষ্ঠ সক্রিয়করণের মাধ্যমে (প্লাজমা / ইউভি চিকিত্সা) ।
- ভ্যান ডের ওয়াল্স বাহিনী বা হাইড্রোজেন বন্ডের উপর নির্ভর করে, অতি মসৃণ পৃষ্ঠের প্রয়োজন (Ra < 0.5 nm) ।
আবেদন :
- নমনীয় ইলেকট্রনিক্স (ওএলইডি, ভাঁজযোগ্য ডিসপ্লে)
- নিম্ন তাপমাত্রার এমইএমএস (মাইক্রোস্কেল সেন্সর, বায়োচিপ) ।
- বিচিত্র সংহতকরণ (Si এর উপর III-V যৌগ) ।
উপকারিতা:
- কোন তাপ চাপ বা warping.
- তাপমাত্রা সংবেদনশীল উপকরণ সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
সীমাবদ্ধতা :
- কম প্রাথমিক বন্ধন শক্তি (অনুসন্ধানের পরে প্রয়োজন হতে পারে) ।
- পৃষ্ঠের দূষণের জন্য উচ্চ সংবেদনশীলতা।
2হাইড্রোফিলিক বন্ডিং
নীতি:
- হাইড্রোক্সাইল (-OH) গ্রুপ তৈরির জন্য পৃষ্ঠগুলি অক্সিজেন বা নাইট্রোজেন প্লাজমা দিয়ে চিকিত্সা করা হয়।
- ভ্যাকুয়াম/নিয়ন্ত্রিত বায়ুমণ্ডলে (১৫০-৩০০ ডিগ্রি সেলসিয়াস) সি-ও-সি কোভাল্যান্ট বন্ডের মাধ্যমে বন্ড গঠন হয়।
আবেদন :
- সি-গ্লাস বন্ডিং (এমইএমএস চাপ সেন্সর, অপটিক্যাল প্যাকেজিং) ।
- সিলিকন ডাই এর থ্রিডি স্ট্যাকিং (মেমরি স্ট্যাকিং) ।
- জৈবসম্মত ডিভাইস তৈরি (ল্যাব-অন-এ-চিপ) ।
উপকারিতা:
- নিম্ন তাপ বাজেট (অন্তর্ভাগের ত্রুটিগুলিকে হ্রাস করে) ।
- বড় এলাকার ওয়েফারের জন্য চমৎকার সমতলতা।
সীমাবদ্ধতা :
- আর্দ্রতা সংবেদনশীল (দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতার ঝুঁকি) ।
- প্লাজমা এক্সপোজার কন্ট্রোল করতে হবে।
3অস্থায়ী বন্ধন
নীতি:
- ক্যারিয়ারে ওয়েফার সংযুক্ত করার জন্য বিপরীতমুখী আঠালো স্তর (বিসিবি, ইউভি-কুরিয়েবল রজন) ব্যবহার করে।
- লেজার লিফট-অফ, তাপীয় স্লাইড বা রাসায়নিক দ্রবীভূতকরণের মাধ্যমে বিচ্ছেদ।
আবেদন :
- থ্রিডি প্যাকেজিং (পাতলা-ওয়েফার হ্যান্ডলিং, ফ্যান-আউট ডাব্লুএলপি)
- ব্যাকসাইড প্রক্রিয়াকরণ (টিএসভি ফিলিং, প্যাসিভেশন) ।
- এমইএমএস রিলিজ (বলিদান স্তর খোদাই) ।
উপকারিতা:
- নীচে স্টেপগুলির জন্য ওয়েফারের সমতলতা সংরক্ষণ করে।
- উচ্চ তাপমাত্রার পোস্ট-বন্ডিং প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ (>300°C) ।
সীমাবদ্ধতা :
- আঠালো অবশিষ্টাংশের দূষণের ঝুঁকি
- বিচ্ছেদ মাইক্রো ক্র্যাক সৃষ্টি করতে পারে।
অ্যাপ্লিকেশন
ZMSH ওয়েফার বন্ডার
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী (FAQ)
প্রশ্ন:তাপমাত্রা সংবেদনশীল উপকরণগুলির জন্য কোন বন্ধন পদ্ধতিটি সেরা?
উঃ রুম তাপমাত্রা বা অস্থায়ী বন্ধন পলিমার বা জৈব ইলেকট্রনিক্সের মতো উপকরণগুলির জন্য আদর্শ, কারণ তারা তাপীয় চাপ এড়ায়।
প্রশ্ন:অস্থায়ী বন্ধন কিভাবে কাজ করে?
উঃএকটি বিপরীতমুখী আঠালো স্তর (উদাহরণস্বরূপ, বিসিবি বা ইউভি রজন) ওয়েফারটিকে একটি ক্যারিয়ারের সাথে আবদ্ধ করে। প্রক্রিয়াকরণের পরে, লেজার লিফট-অফ বা তাপীয় স্লাইডের মাধ্যমে বিচ্ছেদ করা হয়।
প্রশ্ন:আমি কি বিদ্যমান লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলির সাথে বন্ডিং একীভূত করতে পারি?
উঃ হ্যাঁ, মডুলার বন্ডারগুলি এমইএস-সামঞ্জস্যপূর্ণ নিয়ন্ত্রণগুলির সাথে কারখানায় সংহত করা যেতে পারে।