|
বিস্তারিত তথ্য |
|||
| Heating Method: | Graphite Resistance Heating | ইনপুট শক্তি: | থ্রি-ফেজ, পাঁচ-তারের এসি 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz |
|---|---|---|---|
| সর্বোচ্চ গরম করার তাপমাত্রা: | 2300 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড | রেট গরম করার শক্তি: | 80KW |
| হিটার পাওয়ার রেঞ্জ: | 35kW ~ 40kW | চক্র প্রতি শক্তি খরচ: | 3500kW · h ~ 4500kW · h |
| Crystal Growth Cycle: | 5D ~ 7D | প্রধান মেশিনের আকার: | 2150 মিমি x 1600 মিমি x 2850 মিমি (দৈর্ঘ্য x প্রস্থ x উচ্চতা) |
| বিশেষভাবে তুলে ধরা: | 8 ইঞ্চি সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস,6 ইঞ্চি সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস,পিভিটি সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস |
||
পণ্যের বর্ণনা
পিভিটি, লেলি এবং টিএসএসজি পদ্ধতি ব্যবহার করে 4 ইঞ্চি, 6 ইঞ্চি এবং 8 ইঞ্চি স্ফটিকের জন্য উচ্চ দক্ষতা সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসের সংক্ষিপ্তসার
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস দক্ষ সিলিকন কার্বাইড স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য গ্রাফাইট প্রতিরোধের গরম ব্যবহার করে। এটি 80kW এর নামমাত্র শক্তির সাথে সর্বোচ্চ তাপমাত্রা 2300°C পৌঁছাতে পারে।চুল্লিটি প্রতি চক্রের জন্য 3500kW·h থেকে 4500kW·h এর মধ্যে খরচ করেএটি 2150mm x 1600mm x 2850mm পরিমাপ করে এবং 6m3 / ঘন্টা একটি শীতল জল প্রবাহ হার আছে।আর্গন এবং নাইট্রোজেন গ্যাসের সাথে ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করা, এই চুলাটি উচ্চমানের সিআইসি ইঙ্গোটের উৎপাদন নিশ্চিত করে যা ধারাবাহিক পারফরম্যান্স এবং নির্ভরযোগ্য আউটপুট সহ।
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসের ছবি
আমাদের সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসের ক্রিস্টাল স্পেশাল ক্রিস্টাল টাইপ
সিআইসির ২৫০ টিরও বেশি স্ফটিক কাঠামো রয়েছে, তবে সিআইসি পাওয়ার ডিভাইসের জন্য কেবলমাত্র ৪ এইচসি প্রকার ব্যবহার করা যেতে পারে।জেডএমএসএইচ সফলভাবে ক্লায়েন্টদের এই নির্দিষ্ট ক্রিস্টাল টাইপ বৃদ্ধিতে একাধিকবার তাদের নিজস্ব চুল্লি ব্যবহার করে সহায়তা করেছে.
আমাদের সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস উচ্চ দক্ষতার সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি) স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা 4-ইঞ্চি, 6-ইঞ্চি এবং 8-ইঞ্চি সিআইসি ওয়েফারগুলি প্রক্রিয়া করতে সক্ষম।পিভিটি (পদার্থিক বাষ্প পরিবহন) এর মতো উন্নত কৌশল ব্যবহার করে, লেলি, টিএসএসজি (তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট পদ্ধতি), এবং এলপিই (তরল পর্যায়ে ইপিট্যাক্সি), আমাদের চুল্লি সর্বোত্তম স্ফটিক মান নিশ্চিত করার সময় উচ্চ বৃদ্ধির হার সমর্থন করে।
চুল্লিটি বিভিন্ন সিআইসি স্ফটিক কাঠামো, যা পরিবাহী 4 এইচ, আধা-নিরোধক 4 এইচ এবং অন্যান্য স্ফটিক প্রকারের, যেমন 6 এইচ, 2 এইচ এবং 3 সি বৃদ্ধি করতে ডিজাইন করা হয়েছে।এই কাঠামোগুলি সিআইসি পাওয়ার ডিভাইস এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদন জন্য গুরুত্বপূর্ণ, যা পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স, শক্তি-কার্যকর সিস্টেম এবং উচ্চ-ভোল্টেজ ডিভাইসগুলিতে অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য প্রয়োজনীয়।
আমাদের সিআইসি চুলা সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং অভিন্ন স্ফটিক বৃদ্ধির শর্ত নিশ্চিত করে, উন্নত অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উচ্চ মানের সিআইসি ইঙ্গোট এবং ওয়েফার উত্পাদন করতে সক্ষম করে।
আমাদের সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসের সুবিধা
1. অনন্য তাপ ক্ষেত্র নকশা
অক্ষীয় এবং রেডিয়াল তাপমাত্রা গ্র্যাডিয়েন্টগুলি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, তাপমাত্রা প্রোফাইলটি মসৃণ এবং অভিন্ন। এর ফলে প্রায় সমতল স্ফটিক বৃদ্ধির ইন্টারফেস হয়,ক্রিস্টাল বেধের সর্বোচ্চ ব্যবহার.
উন্নত কাঁচামালের দক্ষতাঃ তাপ ক্ষেত্রটি পুরো সিস্টেমে সমানভাবে বিতরণ করা হয়, কাঁচামালের মধ্যে আরও ধ্রুবক তাপমাত্রা নিশ্চিত করে।এটি পাউডার ব্যবহারকে উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়ায়, উপাদান বর্জ্য হ্রাস।
অক্ষীয় এবং রেডিয়াল তাপমাত্রার মধ্যে স্বাধীনতা উভয় গ্রেডিয়েন্টের উচ্চ-নির্ভুলতা নিয়ন্ত্রণকে সক্ষম করে, যা স্ফটিক চাপ মোকাবেলা এবং বিচ্যুতি ঘনত্ব হ্রাস করার জন্য সমালোচনামূলক।
2. উচ্চ নিয়ন্ত্রণ নির্ভুলতা
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসটি উচ্চমানের সিআইসি স্ফটিক উৎপাদনের জন্য নিবিড়ভাবে ডিজাইন করা হয়েছে, যা অনেক সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অপরিহার্য, যেমন পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স,অপটোইলেকট্রনিক্সসিআইসি এমন উপাদান তৈরির জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা এবং দীর্ঘস্থায়ী স্থায়িত্বের প্রয়োজন।আমাদের চুল্লিতে উন্নত নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা রয়েছে যা বৃদ্ধি প্রক্রিয়া জুড়ে ধ্রুবক কর্মক্ষমতা এবং উচ্চতর স্ফটিক মান বজায় রাখার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে.
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেস ব্যতিক্রমী নির্ভুলতা প্রদান করে, 0.0005% এর পাওয়ার সাপ্লাই নির্ভুলতা, ± 0.05 L/h এর গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা, ± 0.5 °C এর তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা,এবং ±10 Pa এর চেম্বার চাপ স্থিতিশীলতাএই সুনির্দিষ্ট পরামিতিগুলি স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য একটি স্থিতিশীল, অভিন্ন পরিবেশ নিশ্চিত করে, যা সর্বনিম্ন ত্রুটি সহ উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ingots এবং wafers উত্পাদন জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
সিআইসি ইনগট গ্রোথ ফার্নেসের মূল উপাদান, যার মধ্যে রয়েছে প্রোপ্রোশনাল ভালভ, মেকানিক্যাল পাম্প, ভ্যাকুয়াম চেম্বার, গ্যাস ফ্লো মিটার, এবং মোলিকুলার পাম্প,নির্ভরযোগ্য অপারেশন প্রদানের জন্য একসাথে নির্বিঘ্নে কাজএই বৈশিষ্ট্যগুলি চুল্লিকে সিআইসি স্ফটিক উত্পাদন করতে দেয় যা অর্ধপরিবাহী শিল্পের কঠোর চাহিদা পূরণ করে।
জেডএমএসএইচ-এর প্রযুক্তিতে কাটিয়া প্রান্তের স্ফটিক বৃদ্ধির কৌশল অন্তর্ভুক্ত রয়েছে, যা সিআইসি স্ফটিক উৎপাদনে সর্বোচ্চ মানের নিশ্চিত করে।আমাদের সরঞ্জাম পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স মত শিল্প পরিবেশন করার জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়, পুনর্নবীকরণযোগ্য শক্তি এবং উন্নত প্রযুক্তি, যা শক্তির দক্ষ সমাধান এবং টেকসই উদ্ভাবনের অগ্রগতিকে চালিত করে।
3. স্বয়ংক্রিয় অপারেশন
এআউটোম্যাটিক প্রতিক্রিয়াঃসিগন্যাল মনিটরিং, সিগন্যাল ফিডব্যাক
স্বয়ংক্রিয় বিপদাশঙ্কাঃওভারলিমিট সতর্কতা, গতিশীল নিরাপত্তা
স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণঃউৎপাদন পরামিতি, দূরবর্তী অ্যাক্সেস এবং নিয়ন্ত্রণের রিয়েল-টাইম মনিটরিং এবং সঞ্চয়।
সক্রিয় প্রম্পটঃবিশেষজ্ঞ সিস্টেম, মানব-মেশিন মিথস্ক্রিয়া
ZMSH এর SiC ফার্নেস অপ্টিমাম অপারেশন দক্ষতা জন্য উন্নত অটোমেশন একীভূত করে। এটি স্বয়ংক্রিয় সংকেত পর্যবেক্ষণ এবং প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া, ওভার-লিমিট এলার্ম,এবং রিমোট মনিটরিং ক্ষমতা সহ রিয়েল-টাইম প্যারামিটার নিয়ন্ত্রণএই সিস্টেমটি বিশেষজ্ঞের সহায়তার জন্য সক্রিয় বিজ্ঞপ্তি প্রদান করে এবং অপারেটর এবং মেশিনের মধ্যে মসৃণ মিথস্ক্রিয়া সক্ষম করে।
এই বৈশিষ্ট্যগুলি মানুষের হস্তক্ষেপকে হ্রাস করে, প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ উন্নত করে এবং উচ্চমানের সিআইসি ইঙ্গোটগুলির ধারাবাহিক উত্পাদন নিশ্চিত করে, বৃহত আকারের উত্পাদন ক্রিয়াকলাপে দক্ষতা বাড়ায়।
আমাদের সিআইসি ইঙ্গট গ্রোথ ফার্নেসের ডেটা শীট
| ৬ ইঞ্চি সিসি চুলা | ৮ ইঞ্চি সিসি ফার্নেস | ||
| প্রকল্প | প্যারামিটার | প্রকল্প | প্যারামিটার |
| গরম করার পদ্ধতি | গ্রাফাইট প্রতিরোধের গরম | গরম করার পদ্ধতি | গ্রাফাইট প্রতিরোধের গরম |
| ইনপুট পাওয়ার | তিন-ফেজ, পাঁচ-ডায়ার এসি 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz | ইনপুট পাওয়ার | তিন-ফেজ, পাঁচ-ডায়ার এসি 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz |
| সর্বাধিক গরম তাপমাত্রা | ২৩০০°সি | সর্বাধিক গরম তাপমাত্রা | ২৩০০°সি |
| নামমাত্র গরম করার ক্ষমতা | ৮০ কিলোওয়াট | নামমাত্র গরম করার ক্ষমতা | ৮০ কিলোওয়াট |
| হিটার পাওয়ার রেঞ্জ | ৩৫ কিলোওয়াট ~ ৪০ কিলোওয়াট | হিটার পাওয়ার রেঞ্জ | ৩৫ কিলোওয়াট ~ ৪০ কিলোওয়াট |
| চক্র প্রতি শক্তি খরচ | 3500kW·h ~ 4500kW·h | চক্র প্রতি শক্তি খরচ | 3500kW·h ~ 4500kW·h |
| ক্রিস্টাল বৃদ্ধি চক্র | ৫ ডি ~ ৭ ডি | ক্রিস্টাল বৃদ্ধি চক্র | ৫ ডি ~ ৭ ডি |
| প্রধান মেশিনের আকার | 2150mm x 1600mm x 2850mm (দৈর্ঘ্য x প্রস্থ x উচ্চতা) | প্রধান মেশিনের আকার | 2150mm x 1600mm x 2850mm (দৈর্ঘ্য x প্রস্থ x উচ্চতা) |
| মেশিনের প্রধান ওজন | ≈ ২০০০ কেজি | মেশিনের প্রধান ওজন | ≈ ২০০০ কেজি |
| শীতল জল প্রবাহ | ৬ মিটার/ঘন্টা | শীতল জল প্রবাহ | ৬ মিটার/ঘন্টা |
| কোল্ড ফার্নেসের সীমাবদ্ধতা ভ্যাকুয়াম | ৫ × ১০-৪ পা | কোল্ড ফার্নেসের সীমাবদ্ধতা ভ্যাকুয়াম | ৫ × ১০-৪ পা |
| চুলা বায়ুমণ্ডল | আর্গন (5N), নাইট্রোজেন (5N) | চুলা বায়ুমণ্ডল | আর্গন (5N), নাইট্রোজেন (5N) |
| কাঁচামাল | সিলিকন কার্বাইড কণা | কাঁচামাল | সিলিকন কার্বাইড কণা |
| প্রোডাক্ট ক্রিস্টাল টাইপ | ৪ ঘন্টা | প্রোডাক্ট ক্রিস্টাল টাইপ | ৪ ঘন্টা |
| পণ্যের স্ফটিকের বেধ | 18 মিমি ~ 30 মিমি | পণ্যের স্ফটিকের বেধ | ≥ ১৫ মিমি |
| ক্রিস্টালের কার্যকর ব্যাসার্ধ | ≥ ১৫০ মিমি | ক্রিস্টালের কার্যকর ব্যাসার্ধ | ≥ ২০০ মিমি |
আমাদের সেবা
এক-স্টপ সমাধান
আমরা পিভিটি, লেলি, এবং টিএসএসজি/এলপিই প্রযুক্তি সহ কাস্টমাইজড সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি) চুলা সমাধান সরবরাহ করি, যা আপনার নির্দিষ্ট চাহিদা মেটাতে উপযুক্ত।আমরা নিশ্চিত করি আমাদের সিস্টেমগুলি আপনার উৎপাদন লক্ষ্যগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ.
ক্লায়েন্ট প্রশিক্ষণ
আমরা ব্যাপক প্রশিক্ষণ প্রদান করি যাতে আপনার দল আমাদের চুল্লিগুলি কীভাবে পরিচালনা এবং রক্ষণাবেক্ষণ করতে হয় তা পুরোপুরি বুঝতে পারে। আমাদের প্রশিক্ষণটি মৌলিক অপারেশন থেকে উন্নত সমস্যা সমাধানের সবকিছু জুড়ে।
সাইটে ইনস্টলেশন এবং কমিশনিং
আমাদের টিম ব্যক্তিগতভাবে আপনার অবস্থানে সিআইসি চুলা ইনস্টল এবং কমিশন করে। আমরা সিস্টেমটি সম্পূর্ণরূপে কার্যকরী নিশ্চিত করার জন্য মসৃণ সেটআপ এবং একটি পুঙ্খানুপুঙ্খ যাচাইকরণ প্রক্রিয়া পরিচালনা করি।
বিক্রয়োত্তর সহায়তা
আমরা প্রতিক্রিয়াশীল বিক্রয়োত্তর সেবা প্রদান করি। আমাদের দল সাইটের মেরামত এবং ত্রুটি সমাধানের সাথে সহায়তা করার জন্য প্রস্তুত যা ডাউনটাইমকে হ্রাস করে এবং আপনার সরঞ্জামগুলি সুষ্ঠুভাবে চালিত রাখে।
আমরা উচ্চ মানের চুলা এবং ক্রমাগত সমর্থন প্রদানের জন্য নিবেদিত SiC স্ফটিক বৃদ্ধি আপনার সাফল্য নিশ্চিত করার জন্য।