 |
SAW/BAW 128 ডিগ্রি Y Z-কাটের জন্য 6 ইঞ্চি LiTaO3 LiNbO3 ওয়েফার কালো পোলারাইজড
পণ্যের বিবরণ:
| উৎপত্তি স্থল: | চীন |
| পরিচিতিমুলক নাম: | ZMKJ |
| সাক্ষ্যদান: | ROHS |
| মডেল নম্বার: | JZ-4INCH-LNOI |
প্রদান:
| ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ: | 2 পিসি |
|---|---|
| মূল্য: | by case |
| প্যাকেজিং বিবরণ: | পরিচ্ছন্নতার ঘরে একক ওয়েফার ধারক |
| ডেলিভারি সময়: | 4 সপ্তাহ |
| পরিশোধের শর্ত: | টি/টি, ওয়েস্টার্ন ইউনিয়ন, পেপ্যাল |
| যোগানের ক্ষমতা: | 10 পিসি/মাস |
|
বিস্তারিত তথ্য |
|||
| উপাদান: | সিলিকন সাবস্ট্রেটে LiNbO3 স্তর | স্তর বেধ: | 300-1000nm |
|---|---|---|---|
| ওরিয়েন্টেশন: | এক্স-কাট | আবেদন 2: | 5G saw/BAW ডিভাইস |
| রা: | 0.5nm | বিচ্ছিন্নতা স্তর: | Sio2 |
| স্তর: | 525um | আকার: | 4 ইঞ্চি 6 ইঞ্চি 8 ইঞ্চি |
| লক্ষণীয় করা: | 6 ইঞ্চি LiNbO3 ওয়েফার,BAW LiNbO3 ওয়েফার,Z-কাট LiTaO3 ওয়েফার |
||
পণ্যের বর্ণনা
SAW/BAW অ্যাপ্লিকেশনের জন্য 6 ইঞ্চি LiTaO3 LiNbO3 ওয়েফার কালো পোলারাইজড 128 ডিগ্রি Y Z-কাট
লিথিয়াম নিওবেট (LiNbO3)সিঙ্গেল ক্রিস্টাল হল একটি ফেরোইলেক্ট্রিক ক্রিস্টাল যার উচ্চ ইলেক্ট্রোমেকানিকাল কাপলিং সহগ এবং কম প্রসারণ ক্ষতি, যা 50% পর্যন্ত ব্যান্ডউইথ সহ SAW ডিভাইসগুলি তৈরি করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।লিথিয়াম niobate একক স্ফটিক পদার্থের শাব্দ পৃষ্ঠ তরঙ্গ বৈশিষ্ট্য ঘনিষ্ঠভাবে তাদের স্থিতিবিন্যাস এবং প্রচারের দিক সম্পর্কিত।বিভিন্ন কাটিং অ্যাঙ্গেল এবং প্রচারের দিকনির্দেশ অনুসারে, করাত প্রচারের বেগ হল 3400~4000m/s, ইলেক্ট্রোমেকানিক্যাল কাপলিং সহগ হল 0%~5.6%, এবং তাপমাত্রা সহগ হল -1.1~-95.6(10^-6/℃)।
লিথিয়াম ট্যান্টালেট (LiTaO3)পাইজোইলেক্ট্রিক, ইলেক্ট্রো-অপটিক্যাল এবং ননলাইনার অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং অতিবেগুনী থেকে ইনফ্রারেড পর্যন্ত বিস্তৃত স্বচ্ছতার পরিসর রয়েছে।এটা বাঞ্ছনীয় যে LiTaO3 ওয়েফার ভাল মানের সাথে কাজ করার জন্য একটি মসৃণ পৃষ্ঠ ছিল।রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং (CMP) সমন্বিত সার্কিট (ICs) প্ল্যানারাইজ করতে বা সাবস্ট্রেটগুলির উচ্চ সারফেস কোয়ালিটি পেতে ব্যবহার করা হয়েছে।এই কাগজটি LiTaO3 CMP এর স্লারিতে একটি সংযোজন হিসাবে সাইট্রিক অ্যাসিডের প্রভাব তদন্ত করে।ওয়েফারগুলির রুক্ষতা একটি পারমাণবিক শক্তি মাইক্রোস্কোপি (AFM, XE-100) দ্বারা পলিশ করার পরে পরিমাপ করা হয়েছিল।স্লারি, যা একটি সংযোজন হিসাবে সাইট্রিক অ্যাসিড ধারণ করে, একটি সংযোজনবিহীন স্লারির তুলনায় উপাদান অপসারণের হার এবং ঘর্ষণ শক্তি বেশি।পলিশ করার পর, LiTaO3 ওয়েফারের পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra-এর 1.7A-এ নেমে যেতে পারে।
বৈশিষ্ট্যগত স্পেসিফিকেশন
| ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার | ত্রিকোণ, স্পেস গ্রুপ R3c, পয়েন্ট গ্রুপ 3m |
| গলনাঙ্ক | 1253℃ |
| মোহস কঠোরতা | 5 |
| ঘনত্ব (g/cm3) | 4.64 |
| ডেলিকেসেন্স | কোনোটিই নয় |
| অপটিক্যাল একজাতীয়তা | ~5x10-5/সেমি |
| স্বচ্ছতা পরিসীমা | 420-5200nm |
| শোষণ গুণাঙ্ক | ~0.1%/সেমি @1064nm |
প্রতিসরণকারী সূচক | ne=2.146, no=2.220@1300nm |
| তাপ সম্প্রসারণ সহগ (25℃ এ) | //a,2.0x10-6/K |
| তাপ পরিবাহিতা সহগ | 38 W/m/K 25℃ এ |
| তাপীয় অপটিক্যাল সহগ | dno/dT=-0.874 x 10-6/K 1.4μm এ |
সেলমেয়ার সমীকরণ | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750)-0.027169λ2 |
| উপাদান | 3" 4" 6" LT ওয়েফার করাত/অপটিক্যাল গ্রেড | ||
| ওরিয়েন্টেশন | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ বা কাস্টমাইজড | ||
| কুরি টেম্প | 605°C±3°C | ||
| সঙ্গে ডোপড | ফে | ||
| একক ডোমেইন | সম্পূর্ণ পোলারাইজেশন / হ্রাস | ||
| ওরিয়েন্টেশন | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
| ব্যাস | 76.2±0.2 মিমি | 100±0.2 মিমি | 150±0.2 মিমি |
| প্রাথমিক ফ্ল্যাট | 22±1 মিমি | 32±1 মিমি | 47.5 মিমি, 57.5 মিমি, খাঁজ |
| পুরুত্ব | 0.07 মিমি ~ 1.0 মিমি | 0.1 মিমি ~ 1.0 মিমি | 0.35 মিমি ~ 1.0 মিমি |
| সারফেস ফিনিস | একক / ডাবল সাইড পলিশ / ডাবল সাইড ল্যাপড | ||
| টিটিভি | < 1~5µm | ||
| ধনুক | ± (20µm ~40um ) | ||
| ওয়ার্প | <= 20µm ~ 50µm | ||
| LTV (5mmx5mm) | <1.5 um | ||
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) সঙ্গে 2mm প্রান্ত বাদ | ||
| পালিশ পাশ রা | রুক্ষতা Ra<=5A | ||
| পিছনের দিকের মানদণ্ড | রুক্ষতা Ra:0.5-1.0µm, GC#1000 | ||
| স্ক্র্যাচ এবং ডিগ (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
| এজ প্রোফাইল | SEMI M1.2@ এর সাথে GC800# .নিয়মিত সি টাইপ করুন | ||
| ফাটল, করাতের চিহ্ন, দাগ | কোনোটিই নয় | ||
LiTaO3 ওয়েফার এবং LiNbO3 এর প্রদর্শন
আমি