সংক্ষিপ্ত: এই সংক্ষিপ্ত আলোচনাটি দেখুন এবং জানুন কেন অনেক পেশাদার সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা CVD/SSiC সিলিকন কার্বাইড ট্রে-এর উপর মনোযোগ দেন। এর ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক শক্তি, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং সঠিক আকারের বিষয়ে জানুন, যা কঠিন শিল্প অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য তৈরি করা হয়েছে।
সম্পর্কিত পণ্য বৈশিষ্ট্য:
ওজন হ্রাস এবং তাপ প্রবাহ অপটিমাইজেশনের জন্য মাল্টি-জোন অ্যানুলার স্লট দিয়ে ডিজাইন করা হয়েছে।
বৈশিষ্ট্যযুক্ত একটি শক্তিশালী রেডিয়াল পাঁজর নেটওয়ার্ক যা উন্নত যান্ত্রিক শক্তি এবং ঘূর্ণন স্থিতিশীলতা প্রদান করে।
উচ্চ-নির্ভুলতার মেশিনে তৈরি পৃষ্ঠ সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য সমতলতা এবং বেধের অভিন্নতা নিশ্চিত করে।
কেন্দ্রীয় মাউন্টিং ইন্টারফেস ঘোরানো শ্যাফ্ট এবং স্বয়ংক্রিয় সিস্টেমে সুরক্ষিত ইনস্টলেশনের অনুমতি দেয়।
এসএসআইসি, আরবিএসআইসি, অ্যালুমিনা সিরামিক এবং উচ্চ-শক্তি ধাতু সহ একাধিক উচ্চ-কার্যকারিতা সম্পন্ন উপাদানে উপলব্ধ।
অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, এলইডি উৎপাদন, উন্নত উপাদান প্রক্রিয়াকরণ, এবং নির্ভুল যন্ত্রপাতির জন্য আদর্শ।
বিভিন্ন শিল্পখাতের চাহিদার জন্য তাপীয় কার্যকারিতা, কাঠামোগত স্থায়িত্ব, প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা এবং কাস্টমাইজেবিলিটি প্রদান করে।
সাধারণ জিজ্ঞাস্য:
একটি SiC সিরামিক ট্রে কি?
একটি SiC সিরামিক ট্রে হলো উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড দিয়ে তৈরি একটি নির্ভুল ধারক, যা সেমিকন্ডাক্টর, এলইডি, অপটিক্যাল এবং ভ্যাকুয়াম-প্রসেস ম্যানুফ্যাকচারিং-এর সময় ওয়েফার বা সাবস্ট্রেট সমর্থন, লোড এবং পরিবহনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এটি কঠোর পরিবেশে ব্যতিক্রমী তাপীয় স্থিতিশীলতা, যান্ত্রিক শক্তি এবং বিকৃতি প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে।
কোয়ার্টজ, গ্রাফাইট, বা অ্যালুমিনিয়াম ট্রে-এর তুলনায় SiC ট্রে ব্যবহারের সুবিধাগুলি কী কী?
SiC ট্রেগুলি উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের (1600-1800°C পর্যন্ত), চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, অসামান্য যান্ত্রিক শক্তি, কম তাপ প্রসারণ, উচ্চ জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং একটানা উচ্চ-চাপ উত্পাদন পরিস্থিতিতে দীর্ঘ পরিষেবা জীবন সহ শ্রেষ্ঠ পারফরম্যান্সের সুবিধা প্রদান করে।
প্রধানত কোন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে SiC সিরামিক ট্রে ব্যবহার করা হয়?
SiC ট্রেগুলি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার হ্যান্ডলিং, LPCVD, PECVD, MOCVD তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ, অ্যানিলিং, ডিফিউশন, অক্সিডেশন এবং এপিট্যাক্সি প্রক্রিয়া, নীলকান্তমণি ওয়েফার/অপটিক্যাল সাবস্ট্রেট লোডিং, উচ্চ-ভ্যাকুয়াম এবং উচ্চ-তাপমাত্রা পরিবেশ, এবং নির্ভুল CMP বা পলিশিং ফিক্সচার প্ল্যাটফর্মে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।