|
বিস্তারিত তথ্য |
|||
| উপাদান বিশুদ্ধতা: | Sio₂্যা 999999% | গলনাঙ্ক: | 1730 ° C (নরমকরণ পয়েন্ট) |
|---|---|---|---|
| সর্বাধিক ওয়েফার ক্ষমতা: | 25 ওয়েফার (স্ট্যান্ডার্ড আকার) | অ্যাসিড প্রতিরোধের: | সালফিউরিক, নাইট্রিক, হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড প্রতিরোধী (এইচএফ ব্যতীত) |
| ক্ষয় প্রতিরোধের: | 30 × সিরামিকের চেয়ে বেশি, স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে 150 × বেশি | সামঞ্জস্যপূর্ণ প্রক্রিয়া: | অর্ধপরিবাহী প্রসারণ, অ্যানিলিং, ফটোভোলটাইক ডোপিং, ল্যাব প্রতিক্রিয়া |
| বিশেষভাবে তুলে ধরা: | উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ওয়েফার বোট,কাস্টমাইজযোগ্য কোয়ার্টজ ওয়েফার বোট,উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী কোয়ার্টজ ওয়েফার বোট |
||
পণ্যের বর্ণনা
পণ্যের ভূমিকা
একটি ওয়েফার নৌকা, যা একটি নৌকা বা ক্যারিয়ার নামেও পরিচিত, ওয়েফারগুলি ধরে রাখার, স্থানান্তর এবং অবস্থান নির্ধারণের জন্য অর্ধপরিবাহী উত্পাদন একটি সমালোচনামূলক সরঞ্জাম।এর নকশা উচ্চ তাপমাত্রা (> 1000 °C) মত চরম অবস্থার প্রতিরোধ করতে হবেবিভিন্ন প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের নিরাপত্তা নিশ্চিত করার জন্য, রাসায়নিক ক্ষয় এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ (ইএসডি) ।
নীতি
সমন্বয় ও স্থিরকরণঃ
নৌকায় অবস্থানের গর্তগুলি ওয়েফার ক্যাসেটের পিনগুলির সাথে সারিবদ্ধ হয়, যা ম্যানুয়াল হ্যান্ডলিং ছাড়াই ব্যাচ স্থানান্তরকে সক্ষম করে।
থার্মাল সাইক্লিংয়ের সময় (যেমন, অ্যানিলিং) ডাবল-লেয়ার স্লট (উপরে এবং নীচে) সুরক্ষিত ওয়েফার।
তাপীয় চাপ ব্যবস্থাপনা:
নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ উপাদান (0.5×10−6/°C) তাপমাত্রা ওঠানামা অধীনে warpage ন্যূনতম.
মধুচক্রের কাঠামো তাপীয় চাপকে সমানভাবে বিতরণ করে ।
প্রসেস সামঞ্জস্যতাঃ
স্লট জ্যামিতি (যেমন, আই-টাইপ, ভি-টাইপ) গ্যাস-ফেজ রিঅ্যাক্ট্যান্ট প্রবাহ নিশ্চিত করার সময় বিভিন্ন ওয়েফার বেধ (300 ¢ 800 μm) সামঞ্জস্য করে।
ডায়মন্ড আকৃতির ক্রস-সেকশন দ্বি-দিকের রোবোটিক লোডিংয়ের অনুমতি দেয়, যা থ্রুপুটকে উন্নত করে।
নিরাপত্তা ও সুরক্ষা:
বাফার উপাদানগুলি (স্প্রিংস, রাবার প্যাড) ওয়েফার স্থাপন করার সময় যান্ত্রিক শকগুলি শোষণ করে।
নাইট্রোজেন শুদ্ধি অবশিষ্টাংশ অপসারণ করে, দূষণ প্রতিরোধ করে
বৈশিষ্ট্য
ফিউজড সিলিকা গ্লাস সিলিকন ডাই অক্সাইড (SiO2) থেকে তৈরি একটি বিশেষ শিল্প গ্লাস। এটি অসামান্য শারীরিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য সহ একটি ব্যতিক্রমী বেস উপাদান হিসাবে কাজ করে।
- উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের:
নরম হওয়ার পয়েন্টঃ ~ ১৭৩০°সি।
এটি ১১০০-১২৫০ ডিগ্রি সেলসিয়াসে অবিচ্ছিন্নভাবে কাজ করে এবং ১৪৫০ ডিগ্রি সেলসিয়াসে স্বল্পমেয়াদী এক্সপোজার সহ্য করে ।
- রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা:
বেশিরভাগ অ্যাসিডের প্রতি প্রতিরোধী (হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড ছাড়া) ।
সিরামিকের তুলনায় ক্ষয় প্রতিরোধ 30 গুণ বেশি এবং স্টেইনলেস স্টীলের তুলনায় 150 গুণ বেশি ।
চরম তাপীয় অবস্থার অধীনে স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, অন্যান্য উপকরণকে ছাড়িয়ে যায়।
- তাপীয় স্থিতিশীলতা:
অত্যন্ত কম তাপীয় প্রসারণ সহগ (~ ৫.৫×১০-৭° সেলসিয়াস) ।
তাপীয় ধাক্কা থেকে বেঁচে থাকে (যেমন, 1100°C পর্যন্ত গরম করা এবং পানিতে নিস্তেজ করা) ।
- অপটিক্যাল ট্রান্সপারেন্সিঃ
অতিবেগুনী (ইউভি) থেকে ইনফ্রারেড (আইআর) পর্যন্ত বিস্তৃত বর্ণালী সংক্রমণ।
দৃশ্যমান আলোর সংক্রমণঃ > ৯৫%
ইউভি ট্রান্সমিট্যান্সের সর্বোচ্চ মাত্রা ১৮৫-২৫০ এনএম পরিসরে ৮৫%।
- বৈদ্যুতিক বিচ্ছিন্নতা:
সাধারণ কাঁচের তুলনায় প্রতিরোধ ক্ষমতা ১০,০০০ গুণ বেশি।
এমনকি উচ্চ তাপমাত্রায়ও চমৎকার ডায়েলেক্ট্রিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে ।
অ্যাপ্লিকেশন
ফোটোভোলটাইকঃসিলিকন ওয়াফারের তাপ চিকিত্সা এবং ডোপিং।
গবেষণা ও উন্নয়ন:ল্যাবরেটরি স্কেল উচ্চ তাপমাত্রা চুল্লি এবং উপাদান পরীক্ষা