কেন হাই-এন্ড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলির উপর নির্ভর করে

মেটা বর্ণনাঃ
সিভিডি সিআইসি উন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য একটি সমালোচনামূলক উপাদান হয়ে উঠছে। কেন উচ্চ বিশুদ্ধতা সিভিডি সিলিকন কার্বাইড উপাদান ইটচিং, জমা, epitaxy,এবং অন্যান্য চাহিদাপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া.

এসইও কীওয়ার্ডঃ
সিভিডি সিআইসি, সিভিডি সিলিকন কার্বাইড, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের যন্ত্রাংশ, সিভিডি লেপ, সিভিডি সিআইসি উপাদান, সিলিকন কার্বাইড সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রাংশ, ইটচিং সরঞ্জামের যন্ত্রাংশ, সেমিকন্ডাক্টর সিরামিক উপাদান, জেডএমএসএইচ

বিশ্বব্যাপী অর্ধপরিবাহী শিল্প উচ্চতর নির্ভুলতা, উচ্চতর ফলন এবং আরও উন্নত উত্পাদন নোডের দিকে এগিয়ে যাওয়ার সাথে সাথে সমালোচনামূলক সরঞ্জাম উপকরণগুলির চাহিদা দ্রুত বৃদ্ধি পাচ্ছে।এই উপাদানগুলির মধ্যে,সিভিডি সিআইসি, এছাড়াও হিসাবে পরিচিতরাসায়নিক বাষ্প জমা সিলিকন কার্বাইড, উচ্চ-শেষ অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম উপাদানগুলির জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ পছন্দগুলির মধ্যে একটি হয়ে উঠেছে।

 

অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে, প্লাজমা ইটচিং, পাতলা ফিল্ম জমা, ইপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি, ওয়েফার পরিষ্কার এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন যেমন মূল প্রক্রিয়াগুলি অত্যন্ত কঠোর অবস্থার অধীনে কাজ করে।সরঞ্জামগুলির অংশগুলি ক্ষয়কারী গ্যাসের সংস্পর্শে আসে, উচ্চ-শক্তির প্লাজমা, উচ্চ তাপমাত্রা, শক্তিশালী বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র এবং কঠোর দূষণ নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজনীয়তা। সাধারণ ধাতু, কোয়ার্টজ, গ্রাফাইট,বা প্রচলিত সিরামিক প্রায়ই এই চাহিদা পূরণ করতে সংগ্রাম.

 

এই কারণেইসিভিডি সিআইসি উপাদানউন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে ক্রমবর্ধমানভাবে ব্যবহৃত হয়। চমৎকার বিশুদ্ধতা, রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, প্লাজমা প্রতিরোধের, তাপ পরিবাহিতা এবং যান্ত্রিক শক্তি সহ,সিভিডি সিআইসি অনেক মিশন-ক্রিটিকাল সেমিকন্ডাক্টর অংশের জন্য একটি মূল উপাদান হয়ে উঠেছে.

 

এZMSH, আমরা উন্নত অর্ধপরিবাহী উপকরণ উন্নয়ন নিবিড়ভাবে অনুসরণ এবং অর্ধপরিবাহী, optoelectronics,এবং উচ্চ পারফরম্যান্স শিল্প ক্ষেত্র.

সিভিডি সিসি কি?

সিভিডি সিআইসি একটি উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড উপাদান যা দ্বারা উত্পাদিত হয়রাসায়নিক বাষ্প জমাপ্রচলিত সিলিকন কার্বাইডের বিপরীতে, যা গুঁড়ো উপাদান থেকে গঠিত হয়, সিভিডি সিআইসি গ্যাস-ফেজ রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির মাধ্যমে পরমাণু দ্বারা পরমাণু বৃদ্ধি পায়।
 

সিভিডি প্রক্রিয়া চলাকালীন, সিলিকন এবং কার্বন ধারণকারী গ্যাসযুক্ত অগ্রদূতগুলি একটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রেরণ করা হয়, সাধারণত 1300 °C এর উপরে।এই গ্যাসগুলি একটি স্তর পৃষ্ঠের উপর বিভাজন এবং প্রতিক্রিয়া, ধীরে ধীরে একটি ঘন সিলিকন কার্বাইড স্তর গঠন।
 

এই অনন্য উত্পাদন প্রক্রিয়াটি সিভিডি সিআইসিকে অনেক সুবিধা দেয় যা প্রচলিত সিরামিক গঠনের পদ্ধতিতে অর্জন করা কঠিন।

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য সিভিডি সিআইসির মূল সুবিধা

1অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োজনীয়তা এক দূষণ নিয়ন্ত্রণ. এমনকি ধাতু অশুচিতা যেমন লোহা, নিকেল, ক্রোম,অথবা সোডিয়াম নেতিবাচকভাবে ডিভাইস কর্মক্ষমতা এবং ফলন প্রভাবিত করতে পারে.

 

সিভিডি সিআইসি অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্জন করতে পারে কারণ অবতরণ প্রক্রিয়াটি পারমাণবিক স্তরে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে। প্রচলিত সিন্টারড সিআইসির তুলনায়, সিভিডি সিআইসিতে কম অমেধ্য রয়েছে,উন্নত অভিন্নতা, এবং আরো স্থিতিশীল উপাদান বৈশিষ্ট্য।

 

এটি উন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত যেখানে পরিষ্কারতা এবং প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা অপরিহার্য।

2. ঘন এবং পোরমুক্ত কাঠামো

প্রচলিত সিলিকন কার্বাইড সিরামিক শস্যের মধ্যে মাইক্রোস্কোপিক ছিদ্র থাকতে পারে। প্লাজমা খোদাই বা ক্ষয়কারী গ্যাস পরিবেশে, এই ছিদ্রগুলি দুর্বল পয়েন্ট হয়ে উঠতে পারে।ক্ষয়কারী গ্যাস উপাদান মধ্যে অনুপ্রবেশ করতে পারে, যা অভ্যন্তরীণ ক্ষয়, ফাটল, কণার উত্পাদন, বা উপাদান ব্যর্থতা সৃষ্টি করে।
 

সিভিডি সিআইসি, তবে, একটি বাষ্প-ফেজ প্রতিক্রিয়ার মাধ্যমে স্তর দ্বারা স্তর জমা হয়। ফলস্বরূপ উপাদানটি অত্যন্ত ঘন এবং খুব কম পোরোসিটি রয়েছে।এটি ফ্লোরিন-ভিত্তিক এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমার জন্য এটিকে চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা দেয়, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন, এবং আক্রমণাত্মক রাসায়নিক পরিবেশে।
 

এর ঘন কাঠামোর কারণে, সিভিডি সিআইসি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া চেম্বারের অভ্যন্তরে কণা দূষণ হ্রাস করতে সহায়তা করে, সরঞ্জামগুলির স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফার ফলন উন্নত করে।

3. প্লাজমা এবং জারা প্রতিরোধের চমৎকার

প্লাজমা ইটচিং সরঞ্জাম অত্যন্ত আক্রমণাত্মক পরিবেশে কাজ করে। চেম্বারের অভ্যন্তরে উপাদানগুলি ক্রমাগত শক্তিশালী আয়ন, প্রতিক্রিয়াশীল র্যাডিকাল এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের সংস্পর্শে থাকে।

 

সিভিডি সিআইসিতে প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের দুর্দান্ত ক্ষমতা রয়েছে। এটি অনেক traditionalতিহ্যবাহী উপকরণের তুলনায় দীর্ঘ সময়ের জন্য মাত্রাগত স্থিতিশীলতা এবং পৃষ্ঠের অখণ্ডতা বজায় রাখতে পারে।এটি সরঞ্জামগুলির অংশগুলির পরিষেবা জীবন বাড়াতে এবং রক্ষণাবেক্ষণের ঘনত্ব হ্রাস করতে সহায়তা করে.

 

অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের ক্ষেত্রে, দীর্ঘতর উপাদান জীবন এবং কম কণা উত্পাদন সরাসরি উচ্চতর উত্পাদনশীলতা এবং কম সামগ্রিক অপারেটিং ব্যয়কে অবদান রাখে।

4. উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা

অনেক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া উচ্চ তাপমাত্রায় সম্পন্ন করা হয়।এবং কিছু সিভিডি প্রক্রিয়ার জন্য এমন উপাদান প্রয়োজন যা বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ তাপীয় বোঝা সহ্য করতে পারে, দূষণ বা কর্মক্ষমতা হ্রাস।

সিভিডি সিআইসি চমৎকার তাপ স্থিতিশীলতা এবং তাপ পরিবাহিতা প্রদান করে। এটি ওয়েফারে অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন বজায় রাখতে সাহায্য করে,যা প্রক্রিয়া ধারাবাহিকতা এবং ফিল্ম অভিন্নতা জন্য অপরিহার্য.

 

5. জটিল আকারের জন্য উপযুক্ত

সিভিডি প্রযুক্তির আরেকটি প্রধান সুবিধা হল এর জটিল পৃষ্ঠের লেপ দেওয়ার ক্ষমতা। যেহেতু সিভিডি সিআইসি গ্যাস-ফেজ পূর্বসূরী থেকে গঠিত হয়, লেপটি ত্রিমাত্রিক পৃষ্ঠের উপর জমা হতে পারে,গভীর গর্ত, বাঁকা কাঠামো, টিউব এবং জটিল জ্যামিতি সহ গ্রাফাইট সাবস্ট্র্যাট।

 

এটি সিভিডি সিআইসিকে কাস্টমাইজড অর্ধপরিবাহী অংশগুলির জন্য বিশেষভাবে মূল্যবান করে তোলে যেমন ওয়েফার ক্যারিয়ার, সংবেদনশীল, চেম্বার লাইনার, ফোকাস রিং, প্রান্ত রিং এবং ঝরনা মাথা।

 

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে সিভিডি সিআইসির প্রধান অ্যাপ্লিকেশন

সিভিডি সিআইসি ব্যাপকভাবে অনেক সমালোচনামূলক অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে ব্যবহৃত হয়। এর চমৎকার কর্মক্ষমতা এটি কাঠামোগত উপাদান এবং প্রতিরক্ষামূলক লেপ উভয় জন্য উপযুক্ত করে তোলে।

 

1প্লাজমা ইটচিং সরঞ্জামঃ ফোকাস রিং এবং চেম্বার লাইনার

প্লাজমা খোদাই অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ প্রক্রিয়া এক। চেম্বার পরিবেশ প্রায়ই ফ্লোরিন বা ক্লোরিন ভিত্তিক গ্যাস, উচ্চ শক্তির প্লাজমা,এবং শক্তিশালী বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র.

 

এই পরিবেশে, সিভিডি সিআইসি নিম্নলিখিত উপাদানগুলির জন্য ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ঃ

• ফোকাস রিং
• এজ রিং
• চেম্বার লিনার
• প্রতিরক্ষামূলক ঢাল
• প্লাজমার মুখোমুখি যন্ত্রাংশ

এসিভিডি সিআইসি ফোকাস রিংএটি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকের উপর ওয়েফারের চারপাশে ইনস্টল করা হয়। এর ফাংশনটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র বিতরণ নিয়ন্ত্রণে সহায়তা করা, প্লাজমা গহ্বর স্থিতিশীল করা,এবং ওয়েফার প্রান্ত কাছাকাছি প্রক্রিয়া অভিন্নতা উন্নত.

 

একই সময়ে, ফোকাস রিংটি ইলেক্ট্রোড এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকের মতো সংবেদনশীল অংশগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক বাধা হিসাবে কাজ করে। এটি সরাসরি প্লাজমা বোমাবাজি এবং রাসায়নিক ক্ষয় হ্রাস করে।সরঞ্জাম জীবনকাল বাড়াতে সাহায্য করে.

 

যেহেতু সিভিডি সিআইসিতে চমৎকার প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং কম কণা উৎপত্তি রয়েছে, তাই এটি উন্নত ইটচিং সরঞ্জামগুলির জন্য পছন্দের উপকরণগুলির মধ্যে একটি।

 

2পাতলা ফিল্ম অবতরণ এবং ইপিট্যাক্সিঃ সসপেক্টর এবং শাওয়ার হেডস

সিভিডি সিআইসি এছাড়াও ইপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি এবং পাতলা ফিল্ম জমাট বাঁধন সরঞ্জাম একটি সমালোচনামূলক ভূমিকা পালন করে।

 

Si, SiC, এবং GaN epitaxy প্রক্রিয়ার ক্ষেত্রে, ওয়েফারের সংবেদনশীলতা উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী গ্যাস এবং পুনরাবৃত্তি তাপীয় চক্রের প্রতিরোধ করতে হবে।সিভিডি সিআইসি-আচ্ছাদিত গ্রাফাইট সংবেদনশীলগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় কারণ তারা সিআইসির রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং পরিচ্ছন্নতার সাথে গ্রাফাইটের তাপীয় সুবিধাগুলি একত্রিত করে.

 

সিভিডি সিআইসি লেপ ভাল তাপ কর্মক্ষমতা বজায় রেখে ক্ষয়, অক্সিডেশন এবং কণা উত্পাদন থেকে গ্রাফাইট সাবস্ট্র্যাটকে রক্ষা করে।

 

আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ অ্যাপ্লিকেশন হলগ্যাস ঝরনা. পিইসিভিডি, এএলডি, এবং অন্যান্য অবসান প্রক্রিয়ায়, ঝরনা মাথা ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে প্রক্রিয়া গ্যাস সমানভাবে বিতরণ করে। যেহেতু ঝরনা মাথা সরাসরি প্লাজমা এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এক্সপোজ করা হয়,উপাদান নির্বাচন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ.

 

সিভিডি সিআইসি শাওয়ার হেডগুলি ভাল জারা প্রতিরোধের, প্লাজমা স্থিতিশীলতা এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য সরবরাহ করে, অভিন্ন গ্যাস বিতরণ এবং স্থিতিশীল ফিল্ম জমাট বাঁধতে সহায়তা করে।

3. ওয়েফার পরিষ্কার, আইওন ইমপ্লান্টেশন, এবং তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ

ইটচিং এবং জমা দেওয়ার বাইরে, সিভিডি সিআইসি অন্যান্য অনেক অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম মডিউলেও ব্যবহৃত হয়।

 

ওয়েফার পরিষ্কারের সিস্টেমে, সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি আক্রমণাত্মক রাসায়নিক এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা পরিষ্কারের পরিবেশের প্রতিরোধ করতে পারে।সিভিডি সিআইসি টার্গেট চেম্বারের অংশ এবং সুরক্ষা উপাদানগুলির জন্য ব্যবহার করা যেতে পারেযেখানে এটিকে উচ্চ-শক্তির আইওন বোমা হামলার প্রতিরোধ করতে হবে।

 

দ্রুত তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ এবং চুল্লি সরঞ্জামগুলিতে, সিভিডি সিআইসি-লেপযুক্ত ওয়েফার নৌকা এবং ক্যারিয়ার উন্নত পৃষ্ঠের বিশুদ্ধতা, আরও ভাল জারা প্রতিরোধের সরবরাহ করে,এবং লেপহীন সিরামিক বা গ্রাফাইট উপাদানগুলির তুলনায় দীর্ঘতর সেবা জীবন.

 

সিভিডি সিআইসি উত্পাদন প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ

যদিও সিভিডি সিআইসি চমৎকার পারফরম্যান্স প্রদান করে, উচ্চ-শেষের অর্ধপরিবাহী গ্রেড সিভিডি সিআইসি উপাদান উত্পাদন প্রযুক্তিগতভাবে চ্যালেঞ্জিং।
 

1. প্রাক-পরিষ্কার এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ

অর্ধপরিবাহী গ্রেডের সিভিডি সিআইসির জন্য অতি উচ্চ বিশুদ্ধতার কাঁচামাল প্রয়োজন। গ্যাস উত্স, প্রতিক্রিয়া চেম্বার, পাইপলাইন, ফিক্সচার বা সাবস্ট্র্যাট থেকে যে কোনও দূষণ জমা হওয়া সিআইসি স্তরে প্রবেশ করতে পারে।

অতএব, প্রাক-পরিষেবা বিশুদ্ধতা, সরঞ্জাম পরিচ্ছন্নতা এবং উত্পাদন পরিবেশের কঠোর নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।
 

2. বড় আকারের অভিন্ন অবক্ষয়

বড় এলাকা বা পুরু সিভিডি সিআইসি লেপগুলির জন্য, অভ্যন্তরীণ চাপ, warpage, ফাটল,এবং প্রক্রিয়াটি ভালভাবে নিয়ন্ত্রিত না হলে অসম জমাট বাঁধতে পারে.

বড় আকারের সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলির জন্য উন্নত জমা সরঞ্জাম এবং সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন।
 

3. আল্ট্রা-প্রিসিশন মেশিনিং

সিভিডি সিআইসি অত্যন্ত কঠিন এবং ভঙ্গুর। এর মোহস কঠোরতা প্রায় 9 পর্যন্ত পৌঁছতে পারে।5, যা মেশিন, গ্রিল এবং পোলিশ করা খুব কঠিন করে তোলে।

অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য, পৃষ্ঠের রুক্ষতা, মাত্রাগত নির্ভুলতা এবং প্রান্তের গুণমান সমালোচনামূলক।ন্যানোমিটার স্তরের পলিশিং এবং জটিল কাঠামো মেশিনিংয়ের জন্য উন্নত সরঞ্জাম এবং শক্তিশালী প্রক্রিয়া ক্ষমতা প্রয়োজন.



 

সেমিকন্ডাক্টর স্থানীয়করণে সিভিডি সিআইসির ক্রমবর্ধমান চাহিদা

 

উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের অবিচ্ছিন্ন বিকাশের সাথে সাথে উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ নির্ভুলতার সিভিডি সিআইসি অংশগুলির চাহিদা দ্রুত বাড়ছে।

 

বহু বছর ধরে, উচ্চ-শেষের সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি মূলত বিদেশী নির্মাতাদের দ্বারা সরবরাহ করা হয়েছিল।সিভিডি সিআইসি স্থানীয়করণ এবং সরবরাহ শৃঙ্খলের নিরাপত্তার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ দিক হয়ে উঠছে.

 

বাজার প্রাথমিক প্রাপ্যতা থেকে উচ্চ পারফরম্যান্স নির্ভরযোগ্যতার দিকে এগিয়ে যাচ্ছে। ভবিষ্যতে, উচ্চতর বিশুদ্ধতা, বৃহত্তর আকার, ভাল অভিন্নতা,এবং আরো সুনির্দিষ্ট যন্ত্রপাতি CVD SiC উপাদান জন্য মূল উন্নয়ন প্রবণতা হয়ে যাবে.

ZMSH: উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উপাদান অ্যাপ্লিকেশন সমর্থন
 

সেমিকন্ডাক্টর এবং হাইটেক শিল্পের জন্য উন্নত উপকরণ সরবরাহকারী হিসাবে,ZMSHসিভিডি সিআইসি এবং সংশ্লিষ্ট অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির ক্রমবর্ধমান প্রয়োগের প্রতি বিশেষ মনোযোগ দেয়।

 

প্লাজমা ইটচিং, পাতলা ফিল্ম জমা, ইপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি, ওয়েফার হ্যান্ডলিং, বা তাপীয় প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত হয় কিনা,উন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতার জন্য সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি অপরিহার্য হয়ে উঠছে.

 

জেডএমএসএইচ গ্রাহকদের নির্ভরযোগ্য উপাদান সমাধান, পেশাদার প্রযুক্তিগত সহায়তা এবং চাহিদাপূর্ণ শিল্প ও অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য কাস্টমাইজড পণ্য পরিষেবা সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

 

সিদ্ধান্ত

সিভিডি সিআইসি উচ্চমানের অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য অন্যতম গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হয়ে উঠেছে। এর অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা, ঘন কাঠামো, চমৎকার প্লাজমা প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের,তাপীয় স্থিতিশীলতা, এবং জটিল আকারের জন্য উপযুক্ততা এটিকে ইটিং, জমা, ইপিট্যাক্সি, পরিষ্কার, আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং তাপীয় প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত সমালোচনামূলক উপাদানগুলির জন্য আদর্শ করে তোলে।

 

যেমন সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন অগ্রগতি অব্যাহত, সিভিডি সিআইসি ভূমিকা আরও গুরুত্বপূর্ণ হয়ে উঠবে।উচ্চ মানের সিভিডি সিআইসি উপাদান নির্বাচন শুধুমাত্র একটি উপাদান সিদ্ধান্ত নয়, তবে প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা উন্নত, দূষণ হ্রাস, এবং ডিভাইস ফলন বৃদ্ধি একটি মূল ফ্যাক্টর।

জেডএমএসএইচ উন্নত অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির বিকাশকে সমর্থন করবে এবং বিশ্বব্যাপী গ্রাহকদের জন্য উচ্চমানের সমাধান সরবরাহ করবে।
 

সিভিডি সিআইসি একটি উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড উপাদান যা দ্বারা উত্পাদিত হয়রাসায়নিক বাষ্প জমাপ্রচলিত সিলিকন কার্বাইডের বিপরীতে, যা গুঁড়ো উপাদান থেকে গঠিত হয়, সিভিডি সিআইসি গ্যাস-ফেজ রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির মাধ্যমে পরমাণু দ্বারা পরমাণু বৃদ্ধি পায়।
 

সিভিডি প্রক্রিয়া চলাকালীন, সিলিকন এবং কার্বন ধারণকারী গ্যাসযুক্ত অগ্রদূতগুলি একটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রেরণ করা হয়, সাধারণত 1300 °C এর উপরে।এই গ্যাসগুলি একটি স্তর পৃষ্ঠের উপর বিভাজন এবং প্রতিক্রিয়া, ধীরে ধীরে একটি ঘন সিলিকন কার্বাইড স্তর গঠন।

 

এই অনন্য উত্পাদন প্রক্রিয়াটি সিভিডি সিআইসিকে অনেক সুবিধা দেয় যা প্রচলিত সিরামিক গঠনের পদ্ধতিতে অর্জন করা কঠিন।
 

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য সিভিডি সিআইসির মূল সুবিধা

1অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োজনীয়তা এক দূষণ নিয়ন্ত্রণ। এমনকি ধাতু অশুচিতা যেমন লোহা, নিকেল, ক্রোম,অথবা সোডিয়াম নেতিবাচকভাবে ডিভাইস কর্মক্ষমতা এবং ফলন প্রভাবিত করতে পারে.

 

সিভিডি সিআইসি অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্জন করতে পারে কারণ অবতরণ প্রক্রিয়াটি পারমাণবিক স্তরে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে। প্রচলিত সিন্টারড সিআইসির তুলনায়, সিভিডি সিআইসিতে কম অমেধ্য রয়েছে,উন্নত অভিন্নতা, এবং আরো স্থিতিশীল উপাদান বৈশিষ্ট্য।
 

এটি উন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত যেখানে পরিষ্কারতা এবং প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা অপরিহার্য।

2. ঘন এবং পোরমুক্ত কাঠামো

প্রচলিত সিলিকন কার্বাইড সিরামিক শস্যের মধ্যে মাইক্রোস্কোপিক ছিদ্র থাকতে পারে। প্লাজমা খোদাই বা ক্ষয়কারী গ্যাস পরিবেশে, এই ছিদ্রগুলি দুর্বল পয়েন্ট হয়ে উঠতে পারে।ক্ষয়কারী গ্যাস উপাদান মধ্যে অনুপ্রবেশ করতে পারে, যা অভ্যন্তরীণ ক্ষয়, ফাটল, কণার উত্পাদন, বা উপাদান ব্যর্থতা সৃষ্টি করে।

সিভিডি সিআইসি, তবে, একটি বাষ্প-ফেজ প্রতিক্রিয়ার মাধ্যমে স্তর দ্বারা স্তর জমা হয়। ফলস্বরূপ উপাদানটি অত্যন্ত ঘন এবং খুব কম পোরোসিটি রয়েছে।এটি ফ্লোরিন-ভিত্তিক এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমার জন্য এটিকে চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা দেয়, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন, এবং আক্রমণাত্মক রাসায়নিক পরিবেশে।

এর ঘন কাঠামোর কারণে, সিভিডি সিআইসি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া চেম্বারের অভ্যন্তরে কণা দূষণ হ্রাস করতে সহায়তা করে, সরঞ্জামগুলির স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফার ফলন উন্নত করে।

3. প্লাজমা এবং জারা প্রতিরোধের চমৎকার

প্লাজমা ইটচিং সরঞ্জাম অত্যন্ত আক্রমণাত্মক পরিবেশে কাজ করে। চেম্বারের অভ্যন্তরে উপাদানগুলি ক্রমাগত শক্তিশালী আয়ন, প্রতিক্রিয়াশীল র্যাডিকাল এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের সংস্পর্শে থাকে।

সিভিডি সিআইসিতে প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের দুর্দান্ত ক্ষমতা রয়েছে। এটি অনেক traditionalতিহ্যবাহী উপকরণের তুলনায় দীর্ঘ সময়ের জন্য মাত্রাগত স্থিতিশীলতা এবং পৃষ্ঠের অখণ্ডতা বজায় রাখতে পারে।এটি সরঞ্জামগুলির অংশগুলির পরিষেবা জীবন বাড়াতে এবং রক্ষণাবেক্ষণের ঘনত্ব হ্রাস করতে সহায়তা করে.

অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের ক্ষেত্রে, দীর্ঘতর উপাদান জীবন এবং কম কণা উত্পাদন সরাসরি উচ্চতর উত্পাদনশীলতা এবং কম সামগ্রিক অপারেটিং ব্যয়কে অবদান রাখে।

4. উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা

অনেক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া উচ্চ তাপমাত্রায় সম্পন্ন করা হয়।এবং কিছু সিভিডি প্রক্রিয়ার জন্য এমন উপাদান প্রয়োজন যা বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ তাপীয় বোঝা সহ্য করতে পারে, দূষণ বা কর্মক্ষমতা হ্রাস।

সিভিডি সিআইসি চমৎকার তাপ স্থিতিশীলতা এবং তাপ পরিবাহিতা প্রদান করে। এটি ওয়েফারে অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন বজায় রাখতে সাহায্য করে,যা প্রক্রিয়া ধারাবাহিকতা এবং ফিল্ম অভিন্নতা জন্য অপরিহার্য.

5. জটিল আকারের জন্য উপযুক্ত

সিভিডি প্রযুক্তির আরেকটি প্রধান সুবিধা হল এর জটিল পৃষ্ঠের লেপ দেওয়ার ক্ষমতা। যেহেতু সিভিডি সিআইসি গ্যাস-ফেজ পূর্বসূরী থেকে গঠিত হয়, লেপটি ত্রিমাত্রিক পৃষ্ঠের উপর জমা হতে পারে,গভীর গর্ত, বাঁকা কাঠামো, টিউব এবং জটিল জ্যামিতি সহ গ্রাফাইট সাবস্ট্র্যাট।

এটি সিভিডি সিআইসিকে কাস্টমাইজড অর্ধপরিবাহী অংশগুলির জন্য বিশেষভাবে মূল্যবান করে তোলে যেমন ওয়েফার ক্যারিয়ার, সংবেদনশীল, চেম্বার লাইনার, ফোকাস রিং, প্রান্ত রিং এবং ঝরনা মাথা।

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে সিভিডি সিআইসির প্রধান অ্যাপ্লিকেশন

সিভিডি সিআইসি ব্যাপকভাবে অনেক সমালোচনামূলক অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে ব্যবহৃত হয়। এর চমৎকার কর্মক্ষমতা এটি কাঠামোগত উপাদান এবং প্রতিরক্ষামূলক লেপ উভয়ের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।

1প্লাজমা ইটচিং সরঞ্জামঃ ফোকাস রিং এবং চেম্বার লাইনার

প্লাজমা খোদাই অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ প্রক্রিয়া এক। চেম্বার পরিবেশ প্রায়ই ফ্লোরিন বা ক্লোরিন ভিত্তিক গ্যাস, উচ্চ শক্তির প্লাজমা,এবং শক্তিশালী বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র.

এই পরিবেশে, সিভিডি সিআইসি নিম্নলিখিত উপাদানগুলির জন্য ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ঃ

• ফোকাস রিং
• এজ রিং
• চেম্বার লিনার
• প্রতিরক্ষামূলক ঢাল
• প্লাজমার মুখোমুখি যন্ত্রাংশ

এসিভিডি সিআইসি ফোকাস রিংএটি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকের উপর ওয়েফারের চারপাশে ইনস্টল করা হয়। এর ফাংশনটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র বিতরণ নিয়ন্ত্রণে সহায়তা করা, প্লাজমা গহ্বর স্থিতিশীল করা,এবং ওয়েফার প্রান্ত কাছাকাছি প্রক্রিয়া অভিন্নতা উন্নত.

 

একই সময়ে, ফোকাস রিংটি ইলেক্ট্রোড এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকের মতো সংবেদনশীল অংশগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক বাধা হিসাবে কাজ করে। এটি সরাসরি প্লাজমা বোমাবাজি এবং রাসায়নিক ক্ষয় হ্রাস করে।সরঞ্জাম জীবনকাল বাড়াতে সাহায্য করে.

 

যেহেতু সিভিডি সিআইসিতে চমৎকার প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং কম কণা উৎপত্তি রয়েছে, তাই এটি উন্নত ইটচিং সরঞ্জামগুলির জন্য পছন্দের উপকরণগুলির মধ্যে একটি।

2পাতলা ফিল্ম অবতরণ এবং ইপিট্যাক্সিঃ সসপেক্টর এবং শাওয়ার হেডস

সিভিডি সিআইসি এছাড়াও ইপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি এবং পাতলা ফিল্ম জমাট বাঁধন সরঞ্জাম একটি সমালোচনামূলক ভূমিকা পালন করে।

 

Si, SiC, এবং GaN epitaxy প্রক্রিয়ার ক্ষেত্রে, ওয়েফারের সংবেদনশীলতা উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী গ্যাস এবং পুনরাবৃত্তি তাপীয় চক্রের প্রতিরোধ করতে হবে।সিভিডি সিআইসি-আচ্ছাদিত গ্রাফাইট সংবেদনশীলগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় কারণ তারা সিআইসির রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং পরিচ্ছন্নতার সাথে গ্রাফাইটের তাপীয় সুবিধাগুলি একত্রিত করে.

 

সিভিডি সিআইসি লেপ ভাল তাপ কর্মক্ষমতা বজায় রেখে ক্ষয়, অক্সিডেশন এবং কণা উত্পাদন থেকে গ্রাফাইট সাবস্ট্র্যাটকে রক্ষা করে।

 

আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ অ্যাপ্লিকেশন হলগ্যাস ঝরনা. পিইসিভিডি, এএলডি, এবং অন্যান্য অবসান প্রক্রিয়ায়, ঝরনা মাথা ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে প্রক্রিয়া গ্যাস সমানভাবে বিতরণ করে। যেহেতু ঝরনা মাথা সরাসরি প্লাজমা এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এক্সপোজ করা হয়,উপাদান নির্বাচন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ.

 

সিভিডি সিআইসি শাওয়ার হেডগুলি ভাল জারা প্রতিরোধের, প্লাজমা স্থিতিশীলতা এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য সরবরাহ করে, অভিন্ন গ্যাস বিতরণ এবং স্থিতিশীল ফিল্ম জমাট বাঁধতে সহায়তা করে।
 

3. ওয়েফার পরিষ্কার, আইওন ইমপ্লান্টেশন, এবং তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ

ইটচিং এবং জমা দেওয়ার বাইরে, সিভিডি সিআইসি অন্যান্য অনেক অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম মডিউলেও ব্যবহৃত হয়।

ওয়েফার পরিষ্কারের সিস্টেমে, সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি আক্রমণাত্মক রাসায়নিক এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা পরিষ্কারের পরিবেশের প্রতিরোধ করতে পারে।সিভিডি সিআইসি টার্গেট চেম্বারের অংশ এবং সুরক্ষা উপাদানগুলির জন্য ব্যবহার করা যেতে পারেযেখানে এটিকে উচ্চ-শক্তির আইওন বোমা হামলার প্রতিরোধ করতে হবে।

দ্রুত তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ এবং চুল্লি সরঞ্জামগুলিতে, সিভিডি সিআইসি-লেপযুক্ত ওয়েফার নৌকা এবং ক্যারিয়ার উন্নত পৃষ্ঠের বিশুদ্ধতা, আরও ভাল জারা প্রতিরোধের সরবরাহ করে,এবং লেপহীন সিরামিক বা গ্রাফাইট উপাদানগুলির তুলনায় দীর্ঘতর সেবা জীবন.

সিভিডি সিআইসি উত্পাদন প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ

যদিও সিভিডি সিআইসি চমৎকার পারফরম্যান্স প্রদান করে, উচ্চ-শেষের অর্ধপরিবাহী গ্রেড সিভিডি সিআইসি উপাদান উত্পাদন প্রযুক্তিগতভাবে চ্যালেঞ্জিং।

1. প্রাক-পরিষ্কার এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ

অর্ধপরিবাহী গ্রেডের সিভিডি সিআইসির জন্য অতি উচ্চ বিশুদ্ধতার কাঁচামাল প্রয়োজন। গ্যাস উত্স, প্রতিক্রিয়া চেম্বার, পাইপলাইন, ফিক্সচার বা সাবস্ট্র্যাট থেকে যে কোনও দূষণ জমা হওয়া সিআইসি স্তরে প্রবেশ করতে পারে।

অতএব, প্রাক-পরিষেবা বিশুদ্ধতা, সরঞ্জাম পরিচ্ছন্নতা এবং উত্পাদন পরিবেশের কঠোর নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।

2. বড় আকারের অভিন্ন অবক্ষয়

বড় এলাকা বা পুরু সিভিডি সিআইসি লেপগুলির জন্য, অভ্যন্তরীণ চাপ, warpage, ফাটল,এবং প্রক্রিয়াটি ভালভাবে নিয়ন্ত্রিত না হলে অসম জমাট বাঁধতে পারে.

বড় আকারের সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলির জন্য উন্নত জমা সরঞ্জাম এবং সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন।

3. আল্ট্রা-প্রিসিশন মেশিনিং

সিভিডি সিআইসি অত্যন্ত কঠিন এবং ভঙ্গুর। এর মোহস কঠোরতা প্রায় 9 পর্যন্ত পৌঁছতে পারে।5, যা মেশিন, গ্রিল এবং পোলিশ করা খুব কঠিন করে তোলে।

অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির জন্য, পৃষ্ঠের রুক্ষতা, মাত্রাগত নির্ভুলতা এবং প্রান্তের গুণমান সমালোচনামূলক।ন্যানোমিটার স্তরের পলিশিং এবং জটিল কাঠামো মেশিনিংয়ের জন্য উন্নত সরঞ্জাম এবং শক্তিশালী প্রক্রিয়া ক্ষমতা প্রয়োজন.

সেমিকন্ডাক্টর স্থানীয়করণে সিভিডি সিআইসির ক্রমবর্ধমান চাহিদা

উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের অবিচ্ছিন্ন বিকাশের সাথে সাথে উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ নির্ভুলতার সিভিডি সিআইসি অংশগুলির চাহিদা দ্রুত বাড়ছে।

বহু বছর ধরে, উচ্চ-শেষের সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি মূলত বিদেশী নির্মাতাদের দ্বারা সরবরাহ করা হয়েছিল।সিভিডি সিআইসি স্থানীয়করণ এবং সরবরাহ শৃঙ্খলের নিরাপত্তার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ দিক হয়ে উঠছে.

বাজার প্রাথমিক প্রাপ্যতা থেকে উচ্চ পারফরম্যান্স নির্ভরযোগ্যতার দিকে এগিয়ে যাচ্ছে। ভবিষ্যতে, উচ্চতর বিশুদ্ধতা, বৃহত্তর আকার, ভাল অভিন্নতা,এবং আরো সুনির্দিষ্ট যন্ত্রপাতি CVD SiC উপাদান জন্য মূল উন্নয়ন প্রবণতা হয়ে যাবে.

ZMSH: উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উপাদান অ্যাপ্লিকেশন সমর্থন

সেমিকন্ডাক্টর এবং হাইটেক শিল্পের জন্য উন্নত উপকরণ সরবরাহকারী হিসাবে,ZMSHসিভিডি সিআইসি এবং সংশ্লিষ্ট অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির ক্রমবর্ধমান প্রয়োগের প্রতি বিশেষ মনোযোগ দেয়।

 

প্লাজমা ইটচিং, পাতলা ফিল্ম জমা, ইপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি, ওয়েফার হ্যান্ডলিং, বা তাপীয় প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত হয় কিনা,উন্নত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতার জন্য সিভিডি সিআইসি উপাদানগুলি অপরিহার্য হয়ে উঠছে.

 

জেডএমএসএইচ গ্রাহকদের নির্ভরযোগ্য উপাদান সমাধান, পেশাদার প্রযুক্তিগত সহায়তা এবং চাহিদাপূর্ণ শিল্প ও অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য কাস্টমাইজড পণ্য পরিষেবা সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।