ব্লগের বিস্তারিত

কাঙ্ক্ষিত ডিভাইসগুলি তৈরি করতেসিলিকন ওয়েফার, প্রথম ধাপ হল সঠিক ওয়েফার নির্বাচন করা। কিন্তু কী কী স্পেসিফিকেশনের উপর ফোকাস করা উচিত?

ওয়েফারের বেধ (THK):
প্যানেলের বেধসিলিকন ওয়েফারএকটি সমালোচনামূলক প্যারামিটার। ওয়েফার তৈরির সময়, বেধের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য,যেহেতু ওফারের বেধের সঠিকতা এবং অভিন্নতা উভয়ই ডিভাইসের কর্মক্ষমতা এবং উত্পাদন প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতার উপর সরাসরি প্রভাব ফেলে.

মোট বেধের বৈচিত্র্য (TTV):

টিটিভি বলতে ওয়েফারের পৃষ্ঠের সবচেয়ে পুরু এবং পাতলা পয়েন্টগুলির মধ্যে বেধের সর্বাধিক পার্থক্যকে বোঝায়। এটি ওয়েফারের বেধের অভিন্নতা মূল্যায়নের জন্য ব্যবহৃত একটি গুরুত্বপূর্ণ পরামিতি।নিম্ন টিটিভি বজায় রাখা প্রক্রিয়াজাতকরণের সময় একটি ধ্রুবক বেধ বিতরণ নিশ্চিত করে, যা পরবর্তী উত্পাদন ধাপে সমস্যা প্রতিরোধ করতে সাহায্য করে এবং সর্বোত্তম ডিভাইস কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।

মোট সূচক পাঠ্য (টিআইআর):
টিআইআর হ'ল ওয়েফারের পৃষ্ঠের সমতলতা। এটি ওয়েফারের পৃষ্ঠের সর্বোচ্চ এবং সর্বনিম্ন পয়েন্টগুলির মধ্যে উল্লম্ব দূরত্ব হিসাবে সংজ্ঞায়িত।টিআইআর ব্যবহার করা হয় নির্মান প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের কোনও বিকৃতি বা warpage আছে কিনা তা মূল্যায়ন করার জন্য, যা নিশ্চিত করে যে ওয়েফারের সমতলতা প্রয়োজনীয় প্রক্রিয়া স্পেসিফিকেশন পূরণ করে।

নমঃ
কমান্ডটি মূলত ওয়েফারের স্থানীয় বাঁকনির মূল্যায়নের জন্য ব্যবহৃত হয়।এটি একটি সমতল রেফারেন্স পৃষ্ঠ উপর ওয়েফার স্থাপন এবং ওয়েফার কেন্দ্র এবং রেফারেন্স সমতল মধ্যে উল্লম্ব দূরত্ব নির্ধারণ করে পরিমাপ করা হয়. বোক মান সাধারণত কেবল ওয়েফারের কেন্দ্রীয় অঞ্চলে ফোকাস করে এবং ওয়েফারের একটি কনভেক্স (গম্বুজযুক্ত) বা কনকভ (ডিশযুক্ত) সামগ্রিক আকৃতি প্রদর্শন করে কিনা তা নির্দেশ করে।

ওয়ার্প:
ওয়ার্প তার আদর্শ রেফারেন্স প্লেন থেকে ওয়েফারের সামগ্রিক আকৃতির বিচ্যুতি বর্ণনা করে।ওয়ার্পকে ওয়েফারের পৃষ্ঠের যে কোন পয়েন্ট এবং সেরা ফিট রেফারেন্স প্লেনের মধ্যে সর্বোচ্চ বিচ্যুতি হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা হয় (সাধারণত সর্বনিম্ন বর্গক্ষেত্র পদ্ধতি ব্যবহার করে গণনা করা হয়)এটি পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠটি স্ক্যান করে, সমস্ত পয়েন্টের উচ্চতা পরিমাপ করে এবং সর্বোত্তম ফিট সমতল থেকে সর্বাধিক বিচ্যুতি গণনা করে নির্ধারিত হয়।ওয়ার্প ওয়েফারের সমতলতার একটি সাধারণ সূচক প্রদান করে, সমগ্র ওয়েফার জুড়ে বাঁক এবং twisting উভয় ক্যাপচার।

বোল এবং ওয়ার্পের মধ্যে পার্থক্য:
বোক এবং ওয়ার্পের মধ্যে মূল পার্থক্য হচ্ছে তারা যে এলাকাটি মূল্যায়ন করে এবং যে ধরনের বিকৃতি বর্ণনা করে। বোক শুধুমাত্র ওয়েফারের কেন্দ্রে উল্লম্ব স্থানচ্যুতি বিবেচনা করে,কেন্দ্রীয় এলাকার আশেপাশে স্থানীয় বাঁক সম্পর্কে তথ্য প্রদান করেএর বিপরীতে, ওয়ার্প, সর্বোত্তম ফিট প্লেনের তুলনায় পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠের বিচ্যুতি পরিমাপ করে।ঊর্ধ্বতন স্তরের আকার এবং বিকৃতি মূল্যায়নের জন্য এটি আরও উপযুক্ত করে তোলে.

পরিবাহিতা প্রকার / ডোপ্যান্টঃ
এই প্যারামিটারটি ওয়েফারের পরিবাহিতা টাইপকে চিহ্নিত করে, অর্থাৎ ইলেকট্রন বা গর্তগুলি প্রাথমিক চার্জ বহনকারী কিনা।এন-টাইপ ওয়েফার, ইলেকট্রনগুলি বেশিরভাগ বাহক, সাধারণত ফসফরাস (পি), আর্সেনিক (এএস) বা অ্যান্টিমোন (এসবি) এর মতো পেনটাভ্যালেন্ট উপাদানগুলির সাথে ডোপিংয়ের মাধ্যমে অর্জন করা হয়।পি-টাইপ ওয়েফার, গর্তগুলি বেশিরভাগ বাহক, বোরন (বি), অ্যালুমিনিয়াম (আল), বা গ্যালিয়াম (জিএ) এর মতো ত্রিভ্যালেন্ট উপাদানগুলির সাথে ডোপিংয়ের মাধ্যমে তৈরি হয়।ডোপ্যান্ট এবং পরিবাহিতা টাইপ পছন্দ সরাসরি চূড়ান্ত ডিভাইসের বৈদ্যুতিক আচরণ প্রভাবিত করে.

প্রতিরোধ ক্ষমতা (RES):
প্রতিরোধ ক্ষমতা, প্রায়ই সংক্ষিপ্ত হিসাবে RES, বৈদ্যুতিক প্রতিরোধ ক্ষমতা বোঝায়সিলিকন ওয়েফারওয়েফার তৈরির সময় প্রতিরোধের নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এটি সরাসরি ফলাফল ডিভাইসগুলির কর্মক্ষমতাকে প্রভাবিত করে।প্রযোজকরা সাধারণত প্রক্রিয়াকরণের সময় নির্দিষ্ট ডোপ্যান্টগুলি প্রবর্তন করে ওয়েফারের প্রতিরোধ ক্ষমতা সামঞ্জস্য করেসাধারণ লক্ষ্যমাত্রা প্রতিরোধের মানগুলি রেফারেন্সের জন্য স্পেসিফিকেশন টেবিলগুলিতে সরবরাহ করা হয়।

পৃষ্ঠের কণা সংখ্যা (কণা):
কণাগুলি দূষণের সাথে সম্পর্কিতসিলিকন ওয়েফারক্ষুদ্র কণা দ্বারা পৃষ্ঠের উপর। এই কণা উত্পাদন সময় অবশিষ্ট উপকরণ, প্রক্রিয়া গ্যাস, ধুলো, বা পরিবেশগত উত্স থেকে উদ্ভূত হতে পারে।পৃষ্ঠের কণা দূষণ ডিভাইস উত্পাদন এবং কর্মক্ষমতা নেতিবাচকভাবে প্রভাবিত করতে পারে, তাই উত্পাদনের সময় ওয়েফারের পৃষ্ঠের কঠোর নিয়ন্ত্রণ এবং পরিষ্কার করা অপরিহার্য।উত্পাদনকারীরা সাধারণত উচ্চ মানের ওয়েফার বজায় রাখার জন্য পৃষ্ঠের কণা হ্রাস এবং নির্মূল করতে বিশেষ পরিষ্কার প্রক্রিয়া ব্যবহার করে.

কীভাবে উপযুক্ত নির্বাচন করবেনসিলিকন ওয়েফার?
সঠিক সিলিকন ওয়েফারের নির্বাচন নিম্নলিখিত টেবিলে দেখানো পরিদর্শন মান এবং সাধারণ পরামিতি দ্বারা পরিচালিত হতে পারে। মূল বিবেচনার মধ্যে রয়েছেঃ

• বেধের পরিবর্তনঃঘনত্বের পরিবর্তনগুলি প্রায়শই খোদাই এবং ক্ষয় প্রক্রিয়াতে বিচ্যুতি সৃষ্টি করে, যা উত্পাদনের সময় ক্ষতিপূরণ প্রয়োজন।

• ব্যাসার্ধের পরিবর্তনঃব্যাসার্ধের বিচ্যুতি লিথোগ্রাফি ভুল সমন্বয় হতে পারে, কিন্তু প্রভাব সাধারণত সামান্য বলে মনে করা হয়।

• পরিবাহিতা প্রকার এবং ডোপেন্টসঃএগুলি ডিভাইসের পারফরম্যান্সে উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে। সঠিক ডোপিং টাইপ নির্বাচন করা বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ।

• প্রতিরোধ ক্ষমতাঃওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে প্রতিরোধের অভিন্নতা যত্ন সহকারে বিবেচনা করা উচিত, কারণ অভিন্নতা ডিভাইসটির ফলনকে গুরুত্ব সহকারে হ্রাস করতে পারে।

• ক্রিস্টাল ওরিয়েন্টেশন:এটি ভিজা খোদাইয়ের প্রক্রিয়াগুলিকে ব্যাপকভাবে প্রভাবিত করে। যদি ভিজা খোদাই জড়িত থাকে তবে ওরিয়েন্টেশন বিচ্যুতিগুলি বিবেচনা করা উচিত।

• বোক এবং ওয়ার্প:ওয়েফার বাঁক এবং warpage তীব্রভাবে লিথোগ্রাফি নির্ভুলতা প্রভাবিত, বিশেষ করে যখন ছোট সমালোচনামূলক মাত্রা (সিডি) সঙ্গে মোকাবিলা প্যাটার্নিং.

সংশ্লিষ্ট পণ্য

সিলিকন ওয়েফার এন টাইপ পি ডোপ্যান্ট ২ ইঞ্চি ৪ ইঞ্চি ৬ ইঞ্চি ৮ ইঞ্চি প্রতিরোধ ক্ষমতা ০-১০০ ওহম-সেমি একক পাশের পোলিশ