1. টিভিভি এর সংজ্ঞা

TTV (Total Thickness Variation) একটি পাত্রের সর্বাধিক এবং সর্বনিম্ন বেধের মধ্যে পার্থক্য হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা হয়।ওফারএটি ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে বেধ অভিন্নতা মূল্যায়ন করার জন্য ব্যবহৃত একটি মূল পরামিতি।

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা এবং ডিভাইস কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য, ওয়েফার বেধ পুরো পৃষ্ঠ জুড়ে অত্যন্ত অভিন্ন হতে হবে।টিটিভি সাধারণত পাঁচটি প্রতিনিধিত্বমূলক অবস্থানে ওয়েফারের বেধ পরিমাপ করে এবং তাদের মধ্যে সর্বোচ্চ পার্থক্য গণনা করে নির্ধারিত হয়ফলস্বরূপ পাওয়া মানটি ওয়েফারের গুণমান মূল্যায়নের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ মানদণ্ড হিসাবে কাজ করে।

ব্যবহারিক প্রয়োগে, TTV প্রয়োজনীয়তা সাধারণতঃ

• ৪ ইঞ্চি ওফার:TTV < ২ μm

• ৬ ইঞ্চি ওফার:টিটিভি < ৩ মাইক্রন

2. পরিমাপ পদ্ধতি

2.১ ডাবল-সাইডেড অ্যালাইনমেন্ট পদ্ধতি

এই পদ্ধতিতে, ওয়েফারের সামনের দিক এবং পিছনের দিকের পৃষ্ঠতল টপোগ্রাফি আলাদাভাবে পরিমাপ করা হয়ঃ

• সামনের পৃষ্ঠের প্রোফাইলঃ${\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">z</span>}}_{\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">এফ</span>}}<span\; style="font-size:18px;">(</span>\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">এক্স</span>}<span\; style="font-size:18px;">,</span>\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">y</span>}<span\; style="font-size:18px;">)</span>$z_f(x, y)zএফ​(এক্স,y)

• পিছনের পৃষ্ঠের প্রোফাইলঃ${\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">z</span>}}_{\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">b</span>}}<span\; style="font-size:18px;">(</span>\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">এক্স</span>}<span\; style="font-size:18px;">,</span>\mathrm{<span\; style="font-size:18px;">y</span>}<span\; style="font-size:18px;">)</span>$z_b(x, y)zb​(এক্স,y)

স্থানীয় বেধ বন্টন ডিফারেনশিয়াল গণনার মাধ্যমে পাওয়া যায়ঃ

$$t(\mathrm{এক্স},y)=z_{\mathrm{এফ}}(\mathrm{এক্স},y)-z_b(\mathrm{এক্স},y)$$t(এক্স,y)=zএফ​(এক্স,y)−zb​(এক্স,y)

একতরফা পৃষ্ঠের পরিমাপ নিম্নলিখিত কৌশল ব্যবহার করে করা যেতে পারেঃ

• ফিজো ইন্টারফেরোমেট্রি

• স্ক্যানিং হোয়াইট-লাইট ইন্টারফেরোমেট্রি (SWLI)

• কনফোকাল মাইক্রোস্কোপ

• লেজার ত্রিভুজ

সামনের এবং পিছনের পৃষ্ঠগুলির জন্য সমন্বয় সিস্টেমগুলির সঠিক সারিবদ্ধতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। তদতিরিক্ত, তাপীয় ড্রাইভ প্রভাবকে হ্রাস করার জন্য পরিমাপের সময় ব্যবধানগুলি সাবধানে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত।

2.২ ট্রান্সমিশন / রিফ্লেকশন কপলড পদ্ধতি

ডাবল হেড বিপরীত স্থানচ্যুতি সেন্সর পদ্ধতিঃ

ক্যাপাসিটিভ বা ঘূর্ণি-বর্তমান সেন্সরগুলি দূরত্বগুলি সিঙ্ক্রোনাসভাবে পরিমাপ করতে ওয়েফারের উভয় পাশে সমান্তরালভাবে অবস্থিত$d_1$d1​এবং$d_2$d2​প্রতিটি পৃষ্ঠ থেকে. যদি দুটি জোনের মধ্যে বেসলাইন দূরত্ব$\mathrm{আমি}$$আমি$জানা থাকলে, ওয়েফারের বেধ গণনা করা হয়ঃ

$$\text{টিটিভি}=\mathrm{আমি}-d_1-d_2$$

$${\mathrm{}}_{}$$​

এলিপসোমেট্রি বা স্পেকট্রাল রিফ্লেক্টোমেট্রিঃ

আলোর এবং উপাদানের মধ্যে মিথস্ক্রিয়া বিশ্লেষণ করে ওয়েফার বা ফিল্মের বেধ অনুমান করা হয়।এই পদ্ধতিগুলি পাতলা-ফিল্ম অভিন্নতা পরিমাপের জন্য ভালভাবে উপযুক্ত তবে ওয়েফার সাবস্ট্র্যাটের নিজেই টিটিভি পরিমাপের জন্য সীমিত নির্ভুলতা সরবরাহ করে.

আল্ট্রাসোনিক পদ্ধতিঃ

উপকরণটির মাধ্যমে অতিস্বনক তরঙ্গের প্রসারণের সময়ের উপর ভিত্তি করে বেধ নির্ধারণ করা হয়। এই কৌশলটি অস্বচ্ছ উপকরণ বা বিশেষায়িত পরিমাপের দৃশ্যকল্পগুলিতে প্রযোজ্য।

উপরের সমস্ত পদ্ধতির জন্য সঠিক ডেটা প্রসেসিং পদ্ধতি প্রয়োজন যেমন সমন্বয় সমন্বয় এবং তাপীয় ড্রিফ্ট সংশোধন পরিমাপের নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে।

ব্যবহারিক প্রয়োগে, সর্বোত্তম পরিমাপ কৌশলটি ওয়েফারের উপাদান, ওয়েফারের আকার এবং প্রয়োজনীয় পরিমাপের নির্ভুলতার উপর ভিত্তি করে নির্বাচন করা উচিত।