কিভাবে একটি সেমি-ইনসুলেটিং সিআইসি ক্লিনরুমের জন্য ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক স্কিলিং ডিজাইন করবেন

সেমি-ইনসুলেটিং সিআইসি সাবস্ট্রেট তৈরির জন্য ক্লিনরুম ডিজাইনে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক স্কিলিং একটি গুরুত্বপূর্ণ বিবেচনার বিষয় হয়ে উঠছে।

যেহেতু অর্ধ-বিচ্ছিন্ন SiC স্তরগুলির উচ্চ বৈদ্যুতিক প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, তাই বাহ্যিক ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ক্ষেত্রগুলি চার্জ বিতরণ এবং পৃষ্ঠের বৈদ্যুতিক সম্ভাব্যতা প্রভাবিত করতে পারে।সঠিক সুরক্ষা নকশা সংবেদনশীল অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে এই ব্যাঘাতগুলি হ্রাস করতে সহায়তা করতে পারে.

পুরো ক্লিনরুমের কি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ঢাল দরকার?

অবশ্য নয়।

একটি অর্ধ-বিচ্ছিন্ন SiC ক্লিনরুমকে সাবস্ট্র্যাট এক্সপোজার শর্ত, প্রক্রিয়া সংবেদনশীলতা এবং সরঞ্জামের ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সংবেদনশীলতার ভিত্তিতে ভাগ করা উচিত।

যখন ওয়েফারগুলি সিলড ক্যারিয়ারের ভিতরে থাকে, তখন ক্যারিয়ার নিজেই একটি নির্দিষ্ট স্তরের ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুরক্ষা সরবরাহ করতে পারে।ওয়েফার ক্যারিয়ারের জন্য পরিবাহী পলিমার উপকরণ বা ধাতব-আচ্ছাদিত পলিমার কাঠামো ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং ক্যারিয়ার হাউজিং বৈদ্যুতিকভাবে গ্রাউন্ড করা উচিত।

একবার ওয়েফারগুলি ক্যারিয়ার থেকে সরিয়ে নেয়া হয় এবং সরাসরি ক্লিনরুমের পরিবেশে প্রকাশ করা হয়, বিল্ডিং-স্তরের প্রতিরক্ষা আরও গুরুত্বপূর্ণ হয়ে ওঠে।

ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক স্কিলিংয়ের জন্য সমালোচনামূলক এলাকা

ফটোলিথোগ্রাফি এলাকা

আলোক প্রতিরোধক লেপ পরে, সাবস্ট্র্যাট পৃষ্ঠ বৈদ্যুতিক সম্ভাব্য পরিবর্তন বিশেষভাবে সংবেদনশীল হয়ে উঠতে পারে।ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ঢালাই লেপ অভিন্নতা এবং লিথোগ্রাফি সঠিকতা বজায় রাখতে সাহায্য করতে পারে.

সিএমপি এলাকা

স্থিতিশীল স্লারি আচরণ এবং ধ্রুবক পলিশিং কর্মক্ষমতা বজায় রাখার জন্য পৃষ্ঠের সম্ভাব্য নিয়ন্ত্রণ গুরুত্বপূর্ণ।

পরিদর্শন এলাকা

ইলেকট্রন-রশ্মি এবং আয়ন-রশ্মি পরিদর্শন সিস্টেমগুলি ইলেকট্রোম্যাগনেটিক ব্যাঘাতের জন্য অত্যন্ত সংবেদনশীল। অতএব, সমালোচনামূলক পরিদর্শন এলাকায় স্বাধীন বীর্য সুরক্ষা সুপারিশ করা হয়।

সাধারণ সুরক্ষা কাঠামো

ক্লিন রুমের ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ব্রেকিং স্ট্রাকচারগুলোতে নিম্নলিখিত উপাদান থাকতে পারেঃ

• ধাতব প্লেট
• ধাতব জালের স্তর
• অন্তর্নির্মিত পরিবাহী সুরক্ষা কাঠামো

এই কাঠামোগুলি দেয়াল, সিলিং এবং মেঝেতে ইনস্টল করা যেতে পারে।

সাধারণ সুরক্ষা উপকরণগুলির মধ্যে রয়েছেঃ

• তামার ফয়েল
• গ্যালভানাইজড ইস্পাত শীট
• স্টেইনলেস স্টীল প্লেট

ইলিশ লেয়ারের বেধ এবং কাঠামো প্রয়োজনীয় ইলিশ কার্যকারিতা এবং লক্ষ্য ফ্রিকোয়েন্সি পরিসীমা অনুযায়ী নির্বাচন করা উচিত।

লক্ষ্যবস্তু সুরক্ষা কার্যকারিতা

বিভিন্ন ফ্রিকোয়েন্সি রেঞ্জের জন্য বিভিন্ন সুরক্ষা লক্ষ্যমাত্রা প্রয়োজন।

নির্দিষ্ট ফ্রিকোয়েন্সিতে ইলেকট্রোম্যাগনেটিক এক্সপোজার প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা বা ফলন প্রভাবিত করার জন্য পর্যাপ্ত প্ররোচিত চার্জ তৈরি করতে পারে কিনা তার উপর নির্ভর করে প্রকৃত লক্ষ্য নির্ধারণ করা উচিত।

সুরক্ষা অব্যাহত রাখা

একটি ঢালাই স্তর শুধুমাত্র কার্যকর যখন তার বৈদ্যুতিক ধারাবাহিকতা সঠিকভাবে বজায় রাখা হয়।

গুরুত্বপূর্ণ নকশা বিবেচনার মধ্যে রয়েছেঃ

• প্যানেলের জয়েন্টের জন্য পরিবাহী গ্যাসকেট বা পরিবাহী আঠালো টেপ
• কমপক্ষে ৫০ মিমি ওভারল্যাপিং শেল্ডিং স্ট্রাকচার
• খোলার জন্য ওয়েভগাইড বায়ুচলাচল উইন্ডোজ
• দরজার উপর পরিবাহী সিলিং স্ট্রিপ
• দরজার ফ্রেম এবং সিলিং স্ট্রিপগুলির মধ্যে পূর্ণ পরিধি বৈদ্যুতিক যোগাযোগ

ছোটখাটো বিচ্ছিন্নতা, ফাঁক বা খারাপভাবে ডিজাইন করা খোলার ফলে সামগ্রিকভাবে সুরক্ষা কার্যকারিতা হ্রাস পেতে পারে।

সুরক্ষা ব্যবস্থাকে গ্রাউন্ডিং করা

সুরক্ষা স্তরটি একটি একক পয়েন্ট গ্রাউন্ডিং সহ একটি কম প্রতিবন্ধকতা গ্রাউন্ডিং সিস্টেম ব্যবহার করা উচিত।

প্রস্তাবিত গ্রাউন্ড রেসিস্ট্যান্স ≤1 Ω।

একাধিক গ্রাউন্ডিং পয়েন্টগুলি গ্রাউন্ডিং লুপ তৈরি করতে পারে। এই লুপগুলির মধ্য দিয়ে প্রবাহিত প্রেরিত স্রোতগুলি গৌণ চৌম্বক ক্ষেত্র তৈরি করতে পারে এবং ঢালাই সিস্টেমের কার্যকারিতা হ্রাস করতে পারে।

সিদ্ধান্ত

অর্ধ-বিচ্ছিন্ন SiC উত্পাদন জন্য কার্যকর ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক shielding একটি পরিষ্কার রুমে ধাতু প্যানেল যোগ করার একটি সহজ ব্যাপার নয়।

একটি সফল নকশায় সুরক্ষা উপকরণ, কাঠামোগত ধারাবাহিকতা, খোলা, দরজা, গ্রাউন্ডিং, ওয়েফার ক্যারিয়ার এবং প্রক্রিয়া জোনিং একীভূত করতে হবে।

ফটোলিথোগ্রাফি, সিএমপি এবং পরিদর্শন এলাকায় সুরক্ষা সংস্থানকে কেন্দ্র করে,অর্ধপরিবাহী নির্মাতারা পুরো ইনস্টলেশনে অপ্রয়োজনীয় সুরক্ষা এড়ানোর সময় আরও লক্ষ্যবস্তু ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক-নিয়ন্ত্রণ পরিবেশ তৈরি করতে পারে.