ক্যাসেট থেকেFOUP:ওয়েফার ক্যারিয়ারের বিবর্তন

কেন ০ওয়েফার রাখার বাক্স ০ অটোমেশন, ফলন এবং খরচকে রূপ দেয়

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, কিছু সবচেয়ে সমালোচনামূলক উপাদান এছাড়াও কম দৃষ্টি আকর্ষণীয় হয়। তাদের মধ্যে একটি ফ্যাব ইন থেকে ফ্যাব আউট পর্যন্ত একটি ওয়েফার সহগামী, কিন্তু খুব কমই স্পটলাইট পায়ঃওয়েফার ক্যারিয়ার.

যখন মানুষ প্রথমবারের মতো FOUP এর সাথে দেখা করে, তখন অনেকে মনে করেন এটি কেবল একটি শক্তিশালী, পরিষ্কার প্লাস্টিকের বাক্স। কিন্তু এটিকে কেবল "প্যাকেজিং" হিসাবে বিবেচনা করা এর আসল অর্থকে মিস করে।

একটি FOUP হলসাধারণ ভাষাপ্রক্রিয়া সরঞ্জাম, স্বয়ংক্রিয় উপাদান হ্যান্ডলিং সিস্টেম, নিয়ন্ত্রিত মিনি-পরিবেশ এবং শিল্পের মানগুলির মধ্যে।

এর প্রবর্তন একটি ধারাবাহিক উন্নতি ছিল না, এটি একটিমৌলিক সক্ষমক৩০০ মিমি যুগে বড় আকারের স্বয়ংক্রিয় উৎপাদন।

১৯৯০-এর দশকের মাঝামাঝি সময়ে FOUP প্রভাবশালী হওয়ার আগে, ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলি একটি স্পষ্ট বিবর্তনীয় পথ অনুসরণ করেছিলঃ

ক্যাসেট → SMIF → FOUP

এই বিবর্তন অর্ধপরিবাহী শিল্পের মানবকেন্দ্রিক অপারেশন থেকে সিস্টেম স্তরের অটোমেশনে পরিবর্তনের প্রতিফলন।

পরিচ্ছন্ন রুম যথেষ্ট নয়: দূষণ নিয়ন্ত্রণের অংশ হিসেবে বহনকারী

এটি বিশ্বাস করার প্রলোভন হয় যে উচ্চতর ক্লিনরুম গ্রেডগুলি এককভাবে দূষণের সমস্যাগুলি সমাধান করতে পারে। বাস্তবে, ওয়েফার উত্পাদনের মূল পরিবর্তনশীল নিখুঁত পরিচ্ছন্নতা নয়, তবেঃ

একটি ওয়েফার তার পরিবেশের সাথে বিচ্ছিন্ন এবং সংস্পর্শে আসার মধ্যে কত ঘন ঘন স্থানান্তর করে।

একটি একক ওয়েফার শত শত প্রক্রিয়া ধাপের মধ্য দিয়ে যেতে পারে - লিথোগ্রাফি, জমা, খোদাই, পরিষ্কার এবং মেট্রোলজি। প্রতিটি স্থানান্তর, সারি এবং লোড অপারেশন দূষণের ঝুঁকি নিয়ে আসে।

এর পেছনের মূল ধারণাগুলোর একটি হলSMIF (স্ট্যান্ডার্ড মেকানিক্যাল ইন্টারফেস)পরিপূর্ণ ক্লিনরুম থেকে ওয়াফার বিচ্ছিন্ন করা এবং পরিবর্তে একটি কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রিত মধ্যে তাদের রক্ষা করার জন্য ছিলক্ষুদ্র পরিবেশ, যেখানে বায়ু প্রবাহ, চাপ এবং কণা মাত্রা অনেক বেশি স্থিতিশীল।

এই অর্থে, ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলি কেবলমাত্র লজিস্টিক সরঞ্জাম নয়, তারা ফ্যাক্টরিগুলির একটি মূল উপাদানদূষণ নিয়ন্ত্রণ কৌশল:

• উন্মুক্ত বহনকারীপুরো কারখানার পরিচ্ছন্নতার উপর নির্ভর করে এবং মানুষের কার্যকলাপ এবং বায়ু প্রবাহের ব্যাঘাতের প্রতি সংবেদনশীল।

• স্ট্যান্ডার্ডাইজড সরঞ্জাম ইন্টারফেস সহ সিলড ক্যারিয়ারপরিচ্ছন্ন সীমানাটি ক্যারিয়ার-টুল ইন্টারফেসে নামিয়ে আনুন, যা ওয়েফারের এক্সপোজারকে নাটকীয়ভাবে হ্রাস করে।

এছাড়াও একটি বাস্তব ড্রাইভার রয়েছেঃ যখন ওয়েফারগুলি বড় হয়, তখন ক্যারিয়ারগুলি আরও ভারী হয়ে ওঠে, আউটপুট বৃদ্ধি পায় এবং ম্যানুয়াল হ্যান্ডলিং উভয়ই ব্যয়বহুল এবং অস্থির হয়ে ওঠে।

ফলস্বরূপ, ক্যারিয়ার বিবর্তন স্বাভাবিকভাবেই দুটি লক্ষ্যে একত্রিত হয়ঃ

দূষণ থেকে শক্তিশালী বিচ্ছিন্নতাএবংঅটোমেশনের সাথে বৃহত্তর সামঞ্জস্য.

ক্যাসেট যুগঃ খোলা ক্যারিয়ারের স্বর্ণযুগ (১৫০ / ২০০ মিমি)

১৫০ মিমি এবং ২০০ মিমি যুগে, ডোমিনেন্ট ওয়েফার ক্যারিয়ার ছিলক্যাসেট✅ একটি খোলা ফ্রেম কাঠামো যার মধ্যে স্লটযুক্ত সমর্থন রয়েছে যা অপারেটর বা রোবট বাহু দ্বারা সহজেই ওয়েফারগুলি লোড করার অনুমতি দেয়।

কেন ক্যাসেট কাজ করে

ক্যাসেটগুলি সমৃদ্ধ ছিল কারণ তারা ছিল:

• কাঠামোগতভাবে সহজ

• কম খরচে

• সরঞ্জাম জুড়ে অত্যন্ত সামঞ্জস্যপূর্ণ

• ম্যানুয়ালি পরিচালনা করা সহজ

যখন সরঞ্জামগুলির অটোমেশন সীমিত ছিল, তখন ক্যাসেটগুলি ওয়েফার পরিবহন, বাফারিং এবং সরঞ্জাম লোডিংকে পর্যাপ্তভাবে সমর্থন করেছিল।

উন্মুক্ততার সীমাবদ্ধতা

উৎপাদন চাহিদা বৃদ্ধির সাথে সাথে দুটি কাঠামোগত দুর্বলতা স্পষ্ট হয়ে ওঠেঃ

1. পরিচ্ছন্নতা ফ্যাক্টরি পরিবেশের উপর নির্ভর করে

পরিবহন এবং সারিতে দাঁড়ানোর সময়, ওয়েফারগুলি সরঞ্জাম এবং কর্মীদের দ্বারা সৃষ্ট বায়ু প্রবাহ এবং কণা ব্যাঘাতের সরাসরি সংস্পর্শে আসে।

2. বৃহত্তর ওয়েফার আকারের জন্য দুর্বল স্কেলযোগ্যতা

ওয়েফারের ব্যাসার্ধ বাড়ার সাথে সাথে ক্যারিয়ারের ওজন এবং অনমনীয়তার প্রয়োজনীয়তা তীব্রভাবে বৃদ্ধি পায়। ওপেন স্ট্রাকচারগুলি ওয়েফারের মাইক্রো-পরিবেশকে স্থিতিশীল করতে খুব কম সাহায্য করেছিল, হ্যান্ডলিং ঝুঁকি বাড়িয়েছিল।

ক্যাসেট মূলত ছিলপ্রাথমিক অর্ধপরিবাহী কারখানার শিপিং ক্রেট