|
বিস্তারিত তথ্য |
|||
| উৎপত্তি স্থল: | চীন ZMSH | রাসায়নিক রচনা: | SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট |
|---|---|---|---|
| নমনীয় শক্তি: | 470Mpa | তাপ পরিবাহিতাঃ: | 300 W/mK |
| ফাংশন: | CVD-SiC | ঘনত্ব: | 3.21 গ্রাম/সিসি |
| তাপ বিস্তার: | 4 10-6/K | ছাই: | < ৫ পিপিএম |
| Hs কোড: | 6903100000 | তাপ পরিবাহিতাঃ: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-°C) |
| লক্ষণীয় করা: | আইসিপি ইটিং সিলিকন কার্বাইড ট্রে,এমওসিভিডি সসপেক্টর সিলিকন কার্বাইড ট্রে,পোশাক প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড ট্রে |
||
পণ্যের বর্ণনা
সিলিকন কার্বাইড ট্রে সিসি ওয়েফার আইসিপি খোদাইয়ের জন্য ট্রে প্লেট MOCVD Susceptor পরিধান প্রতিরোধী
বর্ণনা
এসআইসি লেপযুক্ত গ্রাফাইট ট্রেগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতার গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্স থেকে তৈরি করা হয়, সিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প জমা) এর মাধ্যমে ব্যতিক্রমী উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং তাত্ত্বিক ঘনত্বের সাথে একটি সিআইসি লেপ গ্রহণ করে।এই সিভিডি সিআইসি লেপ অত্যন্ত শক্ত, এটি একটি আয়না মত সমাপ্তি পর্যন্ত পোলিশ করা সম্ভব, অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং অসাধারণ পরিধান প্রতিরোধের প্রদর্শন। এই লেপা ট্রে উচ্চ শূন্যতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশে excel,তাদের অর্ধপরিবাহী শিল্প এবং অন্যান্য অতি-পরিচ্ছন্ন সেটিংসের জন্য আদর্শ করে তোলেপ্রধানত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিতে ইপিট্যাক্সিয়াল স্তর গঠনের জন্য সাবস্ট্র্যাট হিসাবে ব্যবহৃত হয়, তারা অতি উচ্চ বিশুদ্ধতার পৃষ্ঠ এবং উচ্চতর পরিধান প্রতিরোধের মতো বেশ কয়েকটি সুবিধা দেয়।সিভিডি দিয়ে সিলিকন কার্বাইডের পোলিশযোগ্য প্রকৃতি এবং ন্যূনতম ছিদ্রযুক্ত সিআইসি লেপ নিশ্চিত করে, এই পণ্যগুলি এমওসিভিডি ট্রে, আরটিপি এবং অক্সাইড ইটচিং চেম্বার সহ সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়,সিলিকন নাইট্রাইডের চমৎকার তাপীয় শক প্রতিরোধের এবং প্লাজমা স্থায়িত্বের কারণে.
পণ্যের প্রদর্শনী
পণ্যের বৈশিষ্ট্য
- অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা
- উষ্ণতা শক প্রতিরোধের চমৎকার
- দুর্দান্ত শারীরিক প্রভাব প্রতিরোধের
- জটিল আকারের জন্য যন্ত্রপাতি
- চমৎকার রাসায়নিক স্থিতিশীলতা
- অক্সিডাইজিং বায়ুমণ্ডলে ব্যবহার করা যেতে পারে।
| পয়েন্ট | ইউনিট | প্রযুক্তিগত পরামিতি | |
|---|---|---|---|
| রেল | -- | এসএসআইসি | সিআইসি |
| রঙ | -- | কালো | কালো |
| ঘনত্ব | জি/সেমি3 | 3.12 | 3.06 |
| জল শোষণ | % | 0 | 0 |
| এইচআরএ | -- | ≥ ৯২ | ≥ ৯০ |
| নমনীয়তার মডুলাস | জিপিএ | 400 | 350 |
| ফ্লেক্সুরাল স্ট্রেংথ (@আর.টি.) | এমপিএ | 359 | 300 |
| সংকোচন শক্তি (@আর.টি.) | এমপিএ | ≥2200 | 2000 |
| তাপ পরিবাহিতা (@আর.টি.) | W/Mk | 110 | 100 |
|
তাপীয় সম্প্রসারণের সহগ (২০-১০০০°সি) |
10-৬/°C | 4.0 | 4.0 |
| সর্বোচ্চ। কাজের তাপমাত্রা | °C | 1500 | 1300 |
পণ্যের প্রয়োগ
আইসিপি ইটচিং:সিলিকন কার্বাইড ট্রেগুলি আইসিপি (ইন্ডাক্টিভলি ক্যাপলড প্লাজমা) ইটচিং সিস্টেমের গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, যেখানে তারা অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলি ধরে রাখার এবং প্রক্রিয়াজাতকরণের জন্য শক্তিশালী প্ল্যাটফর্ম হিসাবে কাজ করে।ট্রেগুলির পরিধান-প্রতিরোধী প্রকৃতি ইটচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন দীর্ঘস্থায়ী নির্ভরযোগ্যতা এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে, যা ওয়েফারগুলির উপর সুনির্দিষ্ট প্যাটার্ন স্থানান্তর এবং পৃষ্ঠের পরিবর্তনকে অবদান রাখে।
এমওসিভিডি সন্দেহভাজন:এমওসিভিডি সিস্টেমে, সিলিকন কার্বাইড ট্রেগুলি সংবেদনশীল হিসাবে কাজ করে, অর্ধপরিবাহী সাবস্ট্র্যাটের উপর পাতলা ফিল্মগুলির জমা দেওয়ার জন্য স্থিতিশীল সমর্থন সরবরাহ করে।উচ্চ বিশুদ্ধতা বজায় রাখার এবং উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করার জন্য ট্রেগুলির ক্ষমতা তাদের উচ্চ মানের এবং অভিন্নতার সাথে epitaxial স্তর বৃদ্ধি সহজতর করার জন্য আদর্শ করে তোলে.
পরিধান প্রতিরোধীঃসিআইসি লেপ দিয়ে সজ্জিত, এই ট্রেগুলি ব্যতিক্রমী পরিধান প্রতিরোধের প্রদর্শন করে, এমনকি কঠোর অপারেটিং অবস্থার অধীনে দীর্ঘায়িত পরিষেবা জীবন নিশ্চিত করে।তাদের ঘর্ষণ এবং রাসায়নিক অবক্ষয়ের প্রতিরোধ ক্ষমতা উৎপাদনশীলতা বৃদ্ধি করে এবং ডাউনটাইমকে কমিয়ে দেয়, যা তাদের উচ্চ-থ্রুপুট সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিবেশে অপরিহার্য করে তোলে।
SIC লেপযুক্ত গ্রাফাইট ট্রেটি তাপ চিকিত্সার সময় অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলিকে ফিক্সিং এবং গরম করার জন্য একটি বেস হিসাবে ব্যবহৃত হয়। শক্তি শোষণ করা যায় এবং ইন্ডাকশন, পরিবাহিতা বা বিকিরণের মাধ্যমে চিপটি গরম করা যায়,এবং তার তাপীয় শক প্রতিরোধের, তাপ পরিবাহিতা এবং বিশুদ্ধতা দ্রুত তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ (আরটিপি) এর জন্য অপরিহার্য। সিলিকন ইপিট্যাক্সি প্রক্রিয়াতে, ওয়েফারটি একটি বেসে বহন করা হয়,এবং বেসের পারফরম্যান্স এবং গুণমান ওফারের ইপিট্যাক্সিয়াল স্তরের গুণমানের উপর গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে.
প্রশ্নোত্তর
গ্রাফাইট সংবেদনশীল কি?
গ্রাফাইট উপাদান থেকে সসপেক্টর এবং মফেলগরম করার উপাদান থেকে সরাসরি তাপীয় বিকিরণ মত বাহ্যিক প্রভাব থেকে sinter রক্ষা. তারা নিজেদেরকে গরম করে এবং তাদের তাপকে অভিন্নভাবে ওয়ার্কপিসে প্রেরণ করে। স্থানীয় overheating (তথাকথিত হট স্পট) এড়ানো হয়।
সিআইসি লেপ কি?
সিলিকন কার্বাইড লেপ কি?একটি ঘন, পরিধান প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড (SiC) লেপএটিতে উচ্চ ক্ষয় এবং তাপ প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য রয়েছে পাশাপাশি চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। আমরা রাসায়নিক বাষ্প জমাট (সিভিডি) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গ্রাফাইটের উপর পাতলা স্তরে সিআইসি প্রয়োগ করি।অ্যাপ্লিকেশন.
সিলিকন কার্বাইড গ্রাফাইট কি?
SiC30 - সিলিকন কার্বাইড-গ্রাফাইট কম্পোজিট উপাদান
SiC30 হলসিলিকন কার্বাইড এবং গ্রাফাইট থেকে গঠিত একটি ব্যতিক্রমী কম্পোজিট উপাদান, যার বৈশিষ্ট্যগুলির সমন্বয় সমস্যাগুলি সমাধান করে যা অন্যান্য উপকরণগুলির সাথে সমাধান করা যায় না।পণ্য
পণ্যের সুপারিশ
1SIC সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার 4H - N টাইপ ফর এমওএস ডিভাইস 2 ইঞ্চি ডায়া 50.6 মিমি ((আরও জানতে দয়া করে ছবিতে ক্লিক করুন)
বিজ্ঞপ্তি
কাস্টমাইজযোগ্য পণ্য বিকল্প সম্পর্কে নির্দিষ্ট বিবরণ জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।
কীওয়ার্ডঃ
- সিলিকন কার্বাইড ট্রে
- সিআইসি লেপ
- সিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প জমা)
- উচ্চ বিশুদ্ধতা
- পরিধান প্রতিরোধী
- সেমিকন্ডাক্টর শিল্প
- ইপিট্যাক্সিয়াল স্তর
- এমওসিভিডি
- তাপীয় শক প্রতিরোধের
- কাস্টমাইজযোগ্য অপশন